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TU-Wien
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Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
E366-02
Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
Leitung
Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat. Ulrich Schmid
Übersicht
Leitbild (Deutsch)
Die Aufgaben der Mikrosystemtechnik sind der Entwurf, die Herstellung und das Testen dreidimensionaler Strukturen und Funktionseinheiten im Mikrometer- und Nanometer-Bereich. Derartige Aktivitäten bestanden bereits vor der Gründung des Instituts für Sensor- und Aktuatorsysteme am Institut für Industrielle Elektronik und Materialwissenschaften (im Bereich der Sensorik) sowie am Institut für Mikro- und Feinwerktechnik. Eine Ausweitung und Neuorientierung dieser Aktivitäten erfolgte mit der Besetzung der neu geschaffenen Professur Mikrosystemtechnik durch Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat Ulrich SCHMID. Die in vielen Jahren aufgebaute Labor-Infrastruktur für die Sensorik und Mikrosystemtechnik im Wert von ca. 3 Mio. Euro (250 m² Reinraum, zum Teil im Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen (ZMNS)) ist eine solide Grundlage für künftige Forschungsarbeiten
Leitbild (Englisch)
Webseite
http://institute.tuwien.ac.at/mst
Personen
Titel
Nachname
Vorname
Senior Scientist Dipl.-Ing.in Dr.in techn.
Adamovic
Nadja
Projektass. M.Tech.
Alasatri
Suresh
BSc
Bacher
Fabian
Brandacher
Niklas
B.A.
Chukanova
Daria
BSc
Dejkoski
Bozhidar
Univ.Ass. Dott.mag.
Disnan
Davide
BA BA MA
Dong
Xiran
BSc
Egger
Patrick
Univ.Ass.in master
El Bakour
Dounia
Senior Scientist Dipl.-Ing. Dr.techn.
Fulmek
Paul
BSc
Getzner
Severin
Projektass. Dipl.-Ing. BSc
Huber
Dominik
Janotka
Ernst-Dieter
Projektass.in
Keerthi
Keerthi
Projektass.in MSc
Kwon
MinHee
Projektass. Dipl.-Ing. Dr.techn. BSc
Leitgeb
Markus
Projektass. Dr.techn. MEng.
Loch Gesing
Andre
Projektass. Dipl.-Ing. BSc
Moll
Philipp
Projektass.
Mortada
Mahdi
Projektass.in
Muringakodan
Shareena
Projektass. MSc
Nanjappan
Chezhiyan
Projektass. MSc
Parmar
Priyank Mehulbhai
Projektass. Dott.mag.
Perazzi
Marco
Univ.Ass. Dipl.-Ing. Dr.techn.
Pfusterschmied
Georg
F
P
1
2
N
E