Forschungseinheitenprofil

TU-Wien > Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme >Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik >Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme >Forschungsbereich Mikrosystemtechnik

Übersicht

Leitbild (Deutsch)
Die Aufgaben der Mikrosystemtechnik sind der Entwurf, die Herstellung und das Testen dreidimensionaler Strukturen und Funktionseinheiten im Mikrometer- und Nanometer-Bereich. Derartige Aktivitäten bestanden bereits vor der Gründung des Instituts für Sensor- und Aktuatorsysteme am Institut für Industrielle Elektronik und Materialwissenschaften (im Bereich der Sensorik) sowie am Institut für Mikro- und Feinwerktechnik. Eine Ausweitung und Neuorientierung dieser Aktivitäten erfolgte mit der Besetzung der neu geschaffenen Professur Mikrosystemtechnik durch Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat Ulrich SCHMID. Die in vielen Jahren aufgebaute Labor-Infrastruktur für die Sensorik und Mikrosystemtechnik im Wert von ca. 3 Mio. Euro (250 m² Reinraum, zum Teil im Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen (ZMNS)) ist eine solide Grundlage für künftige Forschungsarbeiten

Leitbild (Englisch)

Webseite http://institute.tuwien.ac.at/mst

Personen

Titel	Nachname	Vorname
Senior Scientist Dipl.-Ing.in Dr.in techn.	Adamovic	Nadja
	Bittner	Martina
Projektass.	Dadashi Radvar	Sahand
Projektass. Dipl.-Ing. BSc	Dejkoski	Bozhidar
BSc	Durstberger	Markus
MSc	Edwards-Marois	Cherry Mariz
Projektass.in master	El Bakour	Dounia
Senior Scientist Dipl.-Ing. Dr.techn.	Fulmek	Paul
Projektass.in Dott.ssa mag.	Gaetano	Giulia
Univ.Ass. Dipl.-Ing. BSc	Gülly	Michael
Projektass. Dipl.-Ing. BSc	Huber	Dominik
Projektass.in	Keerthi	Keerthi
	Kleinhofer	Johann
B.Eng.	Kraus	Andreas
Univ.Ass. Dr.techn.	Loch Gesing	Andre
	Maximov	Maxim
Projektass. Dipl.-Ing. Dr.techn. BSc	Moll	Philipp
Projektass.	Mortada	Mahdi
Projektass.in	Muringakodan	Shareena
BSc	Nistor	Constantin
	Novak	Tamas
Projektass. MSc	Parmar	Priyank Mehulbhai
Projektass. Dott. mag.	Pennese	Marta
Projektass. Dott. mag.	Perazzi	Marco
Univ.Ass. Dipl.-Ing. Dr.techn.	Pfusterschmied	Georg