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Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
E366-02
Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
Leitung
Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat. Ulrich Schmid
Übersicht
Leitbild (Deutsch)
Die Aufgaben der Mikrosystemtechnik sind der Entwurf, die Herstellung und das Testen dreidimensionaler Strukturen und Funktionseinheiten im Mikrometer- und Nanometer-Bereich. Derartige Aktivitäten bestanden bereits vor der Gründung des Instituts für Sensor- und Aktuatorsysteme am Institut für Industrielle Elektronik und Materialwissenschaften (im Bereich der Sensorik) sowie am Institut für Mikro- und Feinwerktechnik. Eine Ausweitung und Neuorientierung dieser Aktivitäten erfolgte mit der Besetzung der neu geschaffenen Professur Mikrosystemtechnik durch Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat Ulrich SCHMID. Die in vielen Jahren aufgebaute Labor-Infrastruktur für die Sensorik und Mikrosystemtechnik im Wert von ca. 3 Mio. Euro (250 m² Reinraum, zum Teil im Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen (ZMNS)) ist eine solide Grundlage für künftige Forschungsarbeiten
Leitbild (Englisch)
Webseite
http://institute.tuwien.ac.at/mst
Personen
Titel
Nachname
Vorname
Senior Scientist Dipl.-Ing.in Dr.in techn.
Adamovic
Nadja
Projektass. M.Tech.
Alasatri
Suresh
BSc
Bacher
Fabian
B.A.
Chukanova
Daria
Projektass. Dott.mag.
Disnan
Davide
BA BA MA
Dong
Xiran
BSc
Edwards-Marios
Cherry Mariz
BSc
Egger
Patrick
Projektass.in master
El Bakour
Dounia
Senior Scientist Dipl.-Ing. Dr.techn.
Fulmek
Paul
Projektass.in Dott.mag.
Gaetano
Giulia
BSc
Getzner
Severin
BSc (FH)
Gruber
Jakob
Univ.Ass. Dipl.-Ing. BSc
Gülly
Michael
Projektass. Dipl.-Ing. BSc
Huber
Dominik
Projektass.in
Keerthi
Keerthi
Kleinhofer
Johann
Projektass.in MSc
Kwon
MinHee
Univ.Ass. Dr.techn. MEng.
Loch Gesing
Andre
Projektass. Dipl.-Ing. BSc
Moll
Philipp
Projektass.
Mortada
Mahdi
Projektass.in
Muringakodan
Shareena
Projektass. MSc
Nanjappan
Chezhiyan
Projektass. MSc
Parmar
Priyank Mehulbhai
Projektass. Dott.mag.
Perazzi
Marco
F
P
1
2
N
E