Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage die in der Lehrveranstaltung angebotenen Lehrinhalte zu erfassen und selbstständig zu interpretieren sowie sämtliche Lehrinhalte auch aktiv weiterzugeben.

Der Inhalt der Vorlesung ist entsprechend des Skriptums strukturiert:

1. Einleitung (Geschichte der Elektronenmikroskopie, Erklärung der diversen Mikroskoptypen)
2. Elektronenoptik (Eigenschaften des Bildes, geometrische Optik der Sammellinse, Linsenfehler, Auflösungslimits, Aberrationskorrektur)
3. Rasterelektronenmikroskopie (Aufbau, Eindringung der Elektronen, abbildende Verfahren, environmental SEM, EBIC, 3D-SEM)
4. Transmissionselektronenmikroskopie (Aufbau, Elektronenquellen, Linsensysteme, Detektoren, Probenpräparation)
5. Abbildende Methoden im TEM (Elektronenbeugung, Hell- und Dunkelfeldmikroskopie, kinematische Beugungstheorie, dynamische Beugungstheorie, Phasenkontrast, HRTEM,  Lorentzmikroskopie, Holographie, Tomographie)
6. Simulation von Hochauflösungsbildern (Modellierung der Probe, Austrittswelle, Rekonstruktionsverfahren)
7. Rastertransmissionselektronenmikroskopie (Funktionsweise, Detektoren, Abbildungsverfahren in STEM, Differentieller Phasenkontrast)
8. In-situ Elektronenmikroskopie (im SEM, im TEM)
9. Niederspannungselektronenmikroskopie (Strahlschäden, mittlere freie Weglänge, SEM, TEM)
10. Analytische Elektronenmikroskopie (Anwendungsbeispiele, inelastische Wechselwirkungen, EELS, EDX, CL)

Frontalvorlesung mit Anschauungsobjkekten

Allgemeine Vorbesprechung:

Dienstag, 7. März 2023, 13:00-14:00

FH HS6

mündliche Prüfung 

Ein Skriptum zur Lehrveranstaltung ist beim Vortragenden für einen Druckkostenbeitrag von 15 EUR erhältlich. Dieses Skriptum dient auch als Lernunterlage für die LVA 138.103 Techniken der analytischen Elektronenmikroskopie.

Festkörperphysik