Research unit profile

TU-Wien > Institute of Sensor and Actuator Systems >Faculty of Electrical Engineering and Information Technology >Institute of Sensor and Actuator Systems >Research Unit of Microsystems Technology

Overview

Concept (German)
Die Aufgaben der Mikrosystemtechnik sind der Entwurf, die Herstellung und das Testen dreidimensionaler Strukturen und Funktionseinheiten im Mikrometer- und Nanometer-Bereich. Derartige Aktivitäten bestanden bereits vor der Gründung des Instituts für Sensor- und Aktuatorsysteme am Institut für Industrielle Elektronik und Materialwissenschaften (im Bereich der Sensorik) sowie am Institut für Mikro- und Feinwerktechnik. Eine Ausweitung und Neuorientierung dieser Aktivitäten erfolgte mit der Besetzung der neu geschaffenen Professur Mikrosystemtechnik durch Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat Ulrich SCHMID. Die in vielen Jahren aufgebaute Labor-Infrastruktur für die Sensorik und Mikrosystemtechnik im Wert von ca. 3 Mio. Euro (250 m² Reinraum, zum Teil im Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen (ZMNS)) ist eine solide Grundlage für künftige Forschungsarbeiten

Concept (English)

Website http://institute.tuwien.ac.at/mst

People

Title	Surname	First name
Senior Scientist Dipl.-Ing.in Dr.in techn.	Adamovic	Nadja
Projektass. Dipl.-Ing. BSc	Beyer	Simon
	Bittner	Martina
Projektass.	Dadashi Radvar	Sahand
Projektass. Dipl.-Ing. BSc	Dejkoski	Bozhidar
BSc	Durstberger	Markus
Projektass. Dipl.-Ing. BSc	Egger	Patrick
Senior Scientist Dipl.-Ing. Dr.techn.	Fulmek	Paul
Projektass.in Dott.ssa mag.	Gaetano	Giulia
BSc	Greisinger	Christoph
Univ.Ass. Dipl.-Ing. BSc	Gülly	Michael
Projektass. MSc	Heidari	Hossein
Projektass. Dipl.-Ing. BSc	Heyes	Paul David
Univ.Ass. Dipl.-Ing. Dr.techn. BSc	Huber	Dominik
Projektass.in	Keerthi	Keerthi
BSc	Kopper	Gabriel
Univ.Ass. Dr.techn.	Loch Gesing	Andre
	Maximov	Maxim
Projektass.in	Muringakodan	Shareena
Projektass. BSc MSc	Nistor	Constantin
Projektass. MSc	Parmar	Priyank Mehulbhai
Projektass. Dott. mag.	Pennese	Marta
Univ.Ass. Dipl.-Ing. Dr.techn.	Pfusterschmied	Georg
Univ.Ass. MSc PhD	Platz	Daniel
Projektass. MSc	Raad	Ryan