Please wait...
Please wait...
Deutsch
Help
Login
Research Portal
Search
Research Profile
Research Projects
Project authority
Lehre
Forschung
Organisation
Research unit profile
TU-Wien
>
Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
>
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
>
Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
>
Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
E366-02
Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
Manager
Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat. Ulrich Schmid
Overview
Concept (German)
Die Aufgaben der Mikrosystemtechnik sind der Entwurf, die Herstellung und das Testen dreidimensionaler Strukturen und Funktionseinheiten im Mikrometer- und Nanometer-Bereich. Derartige Aktivitäten bestanden bereits vor der Gründung des Instituts für Sensor- und Aktuatorsysteme am Institut für Industrielle Elektronik und Materialwissenschaften (im Bereich der Sensorik) sowie am Institut für Mikro- und Feinwerktechnik. Eine Ausweitung und Neuorientierung dieser Aktivitäten erfolgte mit der Besetzung der neu geschaffenen Professur Mikrosystemtechnik durch Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat Ulrich SCHMID. Die in vielen Jahren aufgebaute Labor-Infrastruktur für die Sensorik und Mikrosystemtechnik im Wert von ca. 3 Mio. Euro (250 m² Reinraum, zum Teil im Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen (ZMNS)) ist eine solide Grundlage für künftige Forschungsarbeiten
Concept (English)
Website
http://institute.tuwien.ac.at/mst
People
Title
Surname
First name
Senior Scientist Dipl.-Ing.in Dr.in techn.
Adamovic
Nadja
Bittner
Martina
Projektass.
Dadashi Radvar
Sahand
Projektass. Dipl.-Ing. BSc
Dejkoski
Bozhidar
MSc
Edwards-Marois
Cherry Mariz
Projektass.in master
El Bakour
Dounia
Senior Scientist Dipl.-Ing. Dr.techn.
Fulmek
Paul
Projektass.in Dott.ssa mag.
Gaetano
Giulia
Univ.Ass. Dipl.-Ing. BSc
Gülly
Michael
Projektass. Dipl.-Ing. BSc
Huber
Dominik
Projektass.in
Keerthi
Keerthi
Kleinhofer
Johann
B.Eng.
Kraus
Andreas
Univ.Ass. Dr.techn.
Loch Gesing
Andre
Maximov
Maxim
Projektass. Dipl.-Ing. Dr.techn. BSc
Moll
Philipp
Projektass.
Mortada
Mahdi
Projektass.in
Muringakodan
Shareena
BSc
Nistor
Constantin
Novak
Tamas
Projektass. MSc
Parmar
Priyank Mehulbhai
Projektass. Dott. mag.
Perazzi
Marco
Univ.Ass. Dipl.-Ing. Dr.techn.
Pfusterschmied
Georg
Univ.Ass. MSc PhD
Platz
Daniel
Projektass. MSc
Raad
Ryan
F
P
1
2
N
E