Research unit profile

TU-Wien > Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme >Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik >Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme >Forschungsbereich Mikrosystemtechnik

Overview

Concept (German)
Die Aufgaben der Mikrosystemtechnik sind der Entwurf, die Herstellung und das Testen dreidimensionaler Strukturen und Funktionseinheiten im Mikrometer- und Nanometer-Bereich. Derartige Aktivitäten bestanden bereits vor der Gründung des Instituts für Sensor- und Aktuatorsysteme am Institut für Industrielle Elektronik und Materialwissenschaften (im Bereich der Sensorik) sowie am Institut für Mikro- und Feinwerktechnik. Eine Ausweitung und Neuorientierung dieser Aktivitäten erfolgte mit der Besetzung der neu geschaffenen Professur Mikrosystemtechnik durch Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat Ulrich SCHMID. Die in vielen Jahren aufgebaute Labor-Infrastruktur für die Sensorik und Mikrosystemtechnik im Wert von ca. 3 Mio. Euro (250 m² Reinraum, zum Teil im Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen (ZMNS)) ist eine solide Grundlage für künftige Forschungsarbeiten

Concept (English)

Website http://institute.tuwien.ac.at/mst

People

Title	Surname	First name
Senior Scientist Dipl.-Ing.in Dr.in techn.	Adamovic	Nadja
	Bittner	Martina
Projektass.	Dadashi Radvar	Sahand
Projektass. Dipl.-Ing. BSc	Dejkoski	Bozhidar
MSc	Edwards-Marois	Cherry Mariz
Projektass.in master	El Bakour	Dounia
Senior Scientist Dipl.-Ing. Dr.techn.	Fulmek	Paul
Projektass.in Dott.ssa mag.	Gaetano	Giulia
Univ.Ass. Dipl.-Ing. BSc	Gülly	Michael
Projektass. Dipl.-Ing. BSc	Huber	Dominik
Projektass.in	Keerthi	Keerthi
	Kleinhofer	Johann
B.Eng.	Kraus	Andreas
Univ.Ass. Dr.techn.	Loch Gesing	Andre
	Maximov	Maxim
Projektass. Dipl.-Ing. Dr.techn. BSc	Moll	Philipp
Projektass.	Mortada	Mahdi
Projektass.in	Muringakodan	Shareena
BSc	Nistor	Constantin
	Novak	Tamas
Projektass. MSc	Parmar	Priyank Mehulbhai
Projektass. Dott. mag.	Perazzi	Marco
Univ.Ass. Dipl.-Ing. Dr.techn.	Pfusterschmied	Georg
Univ.Ass. MSc PhD	Platz	Daniel
Projektass. MSc	Raad	Ryan