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Direkt-Abscheidungs-Nanostrukturing mit einem Fokussierten Elektronenstrahl System Betrieb eines Gasinjektionssystems mit einem fokussierten Elektronenstrahlsystem Abscheidung von Metallen und Dielektrika mit einem Rasterelektronenmikroskop Herste
01.01.2011 - 31.12.2014
Eigenprojekt
Personen
Projektleiter_in
Heinz Wanzenböck
(E362)
Institut
E362 - Institut für Festkörperelektronik
Forschungsschwerpunkte
Special and Engineering Materials: 60%
Sensor Systems: 20%
Publikationen
Publikationsliste