Direkt-Abscheidungs-Nanostrukturing mit einem Fokussierten Elektronenstrahl System Betrieb eines Gasinjektionssystems mit einem fokussierten Elektronenstrahlsystem Abscheidung von Metallen und Dielektrika mit einem Rasterelektronenmikroskop Herste

01.01.2011 - 31.12.2014
Eigenprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Forschungsschwerpunkte

  • Special and Engineering Materials: 60%
  • Sensor Systems: 20%

Publikationen