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Organisation
WK + HJSt Wien
01.01.2004 - 30.11.2005
Auftragsforschungsprojekt
Nanostrukturierung wasserstoff-terminierter Siliziumoberflächen
Personen
Projektleiter_in
Univ.Prof. Mag.rer.nat. Dipl.-Ing. Dr.techn. Friedrich Aumayr
(E134)
Institut
E134 - Institut für Angewandte Physik
Auftrag/Kooperation
Wirtschaftskammer Wien
Schlagwörter
Deutsch
Englisch
Hochgeladene Ionen
Highly charged ions
Ion-Oberflächen Wechselwirkung
ion-surface interaction
Zerstäubung
sputtering