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Herstellung planarer Wellenleiter mit Zweiphotonenpolymerisation
01.11.2008 - 31.10.2011
Forschungsförderungsprojekt
Techniken zur Herstellung von integrierten Mikrooptiken und optischer Verbindungstechnik gewinnen zunehmend an Bedeutung, da die Nachfrage nach integrierten optoelektronischen Bauteilen kontinuierlich wächst. Elektrische Verbindungen für integrierte Bauelemente können derzeit relative einfach im Rahmen von Großserientechniken hergestellt werden. Als Substrate sind sowohl Leiterplatten als auch Silizium verfügbar. Für optische Verbindungstechnik gibt es derzeit noch keine massentaugliche Technologie, welche die Integration optischer Bauelemente zu geringen Kosten erlaubt. Die Verfügbarkeit von Planar Lightwave Circuits (PLWC) würde die Integration aktiver und passiver optischer Elemente (z.B. optische Interconnects, optische Multiplexer, optische Schalter) wesentlich vereinfachen. Die Schlüsselkomponenten für die Herstellung von PLWCs sind geeignete Strukturierungstechniken sowie Materialien mit entsprechenden optischen Eigenschaften. Die am besten geeignete Fertigungstechnik ist vermutlich die 2-Photonen-Polymersiation (2PP), die eine Lösung für oben genannte Herausforderungen bietet: Ein Substrat (Siliziumwafer oder Leiterplatte) wird mit einem photoempfindlichen Material beschichtet. Bei Belichtung mit einem Femtosekundenlaser wird lokal die Intensitätsschwelle überschritten und 2-Photonenpolymerisation ausgelöst. Durch eine selektive Belichtung können direkt dreidimensionale Strukturen in das Matrixmaterial eingeschrieben werden. So können beispielsweise bei Änderung des Brechungsindex Wellenleiter in das Material eingeschrieben werden. Die Vorteile von 2PP liegen in der exzellenten Auflösung (<300nm) und in der Tatsache, dass 3-dimensionale Strukturen direkt in das Material eingeschrieben werden können.
Personen
Projektleiter_in
Jürgen Stampfl
(E308)
Subprojektleiter_in
Robert Liska
(E308)
Projektmitarbeiter_innen
Johannes Homa
(E308)
Niklas Ulrich Pucher
(E308)
Klaus Stadlmann
(E308)
Institut
E308 - Institut für Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnologie
Förderungmittel
European Commission (EU)
6.RP: Unterstützung für die Koordinierung der (Forschungs-)Tätigkeiten
6.Rahmenprogramm für Forschung
Europäische Kommission - Rahmenprogamme
Europäische Kommission
Ausschreibungskennung ERA-SPOT 2007
Antragsnummer SPOT07/04
Forschungsschwerpunkte
Non-metallic Materials: 50%
Photonics: 25%
Materials Characterization: 25%
Schlagwörter
Deutsch
Englisch
Zweiphotonenpolymerisation
Two photon polymerization
optische Wellenleiter
optical waveguides
Sensoren
sensors
Externe Partner_innen
High Q Laser Production GmbH
Institut für Angewandte Synthesechemie
Publikationen
Publikationsliste