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CZ :: Nanostrukturierung durch Elektronenstrahl-induzierte Direktprozessierung
12.06.2007 - 30.09.2009
Auftragsforschungsprojekt
Personen
Projektleiter_in
Heinz Wanzenböck
(E362-02)
Projektmitarbeiter_innen
Klaus Alberer
(E362-02)
Daniel Erdösi
(E362-02)
Sahar Safoura Forouzan
(E362-02)
Johannes Greil
(E362-02)
Gottfried Hochleitner
(E362-02)
Andreas Höfer
(E362-02)
Peter Rödiger
(E362-02)
Institut
E362-02 - Forschungsbereich Nanoelektronische Bauelemente
Auftrag/Kooperation
Carl Zeiss MTS GmbH
Forschungsschwerpunkte
Non-metallic Materials: 20%
Nano-electronics: 50%
Materials Characterization: 30%
Publikationen
Publikationsliste