CZ :: Nanostrukturierung durch Elektronenstrahl-induzierte Direktprozessierung

12.06.2007 - 30.09.2009
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Projektmitarbeiter_innen

Institut

Auftrag/Kooperation

  • Carl Zeiss MTS GmbH

Forschungsschwerpunkte

  • Non-metallic Materials: 20%
  • Nano-electronics: 50%
  • Materials Characterization: 30%

Publikationen