Kinetische Monte-Carlo-Studien der Smart-Cut-Technologie in Si; Code-Modifikation und Kalibrierung von IMSIL für H- und He-Implantationen in GaN

01.11.2006 - 31.12.2007

Auftragsforschungsprojekt

Kinetische Monte-Carlo-Studien der Smart-Cut-Technologie in Si; Modifikation des Codes IMSIL für Nicht-Diamant-Kristallstrukturen; Kalibrierung des Codes IMSIL für H- & He-Implantationen in GaN nach Erhalt von SIMS-Profilen

Personen

Projektleiter_in

Ao.Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.techn. Gerhard Hobler (E362)

Projektmitarbeiter_innen

Dipl.-Ing. Dr.techn. Thomas Zahel (E362)

Institut

E362 - Institut für Festkörperelektronik

Auftrag/Kooperation

S.O.I.T.E.C Silicon on Insulator Technologies

Forschungsschwerpunkte

Computational Science and Engineering

Schlagwörter

Deutsch	Englisch
Monte-Carlo-Simulation	Monte Carlo simulation
Smart-Cut-Technologie	Smart Cut technology
Ionenimplantation	ion implantation