Kinetische Monte-Carlo-Studien der Smart-Cut-Technologie in Si; Code-Modifikation und Kalibrierung von IMSIL für H- und He-Implantationen in GaN

01.11.2006 - 31.12.2007
Auftragsforschungsprojekt
Kinetische Monte-Carlo-Studien der Smart-Cut-Technologie in Si; Modifikation des Codes IMSIL für Nicht-Diamant-Kristallstrukturen; Kalibrierung des Codes IMSIL für H- & He-Implantationen in GaN nach Erhalt von SIMS-Profilen

Personen

Projektleiter_in

Projektmitarbeiter_innen

Institut

Auftrag/Kooperation

  • S.O.I.T.E.C Silicon on Insulator Technologies

Forschungsschwerpunkte

  • Computational Science and Engineering

Schlagwörter

DeutschEnglisch
Monte-Carlo-SimulationMonte Carlo simulation
Smart-Cut-TechnologieSmart Cut technology
Ionenimplantationion implantation

Publikationen