Hochaufgelöste Nahfeld-Infrarotmikrospektroskopie für die Prozesskontrolle von nanotechnologischen Bauteilen

01.04.2014 - 31.03.2017
Research funding project

People

Project leader

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Förderungmittel

  • FFG - Österr. Forschungsförderungs- gesellschaft mbH (National) Bereich Basisprogramme Österreichische Forschungsförderungsgesellschaft mbH (FFG) Ausschreibungskennung 4. Ausschreibung Produktion der Zukunft Spezifisches Programm Produktion der Zukunft

Research focus

  • Materials Characterization: 100%

Publications