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Hochaufgelöste Nahfeld-Infrarotmikrospektroskopie für die Prozesskontrolle von nanotechnologischen Bauteilen
01.04.2014 - 31.03.2017
Forschungsförderungsprojekt
Personen
Projektleiter_in
Bernhard Lendl
(E164-02)
Institut
E164-02 - Forschungsbereich Umwelt-, Prozessanalytik und Sensoren
Förderungsmittel
FFG - Österr. Forschungsförderungs- gesellschaft mbH (National)
Bereich Basisprogramme
Österreichische Forschungsförderungsgesellschaft mbH (FFG)
Ausschreibungskennung 4. Ausschreibung Produktion der Zukunft
Spezifisches Programm Produktion der Zukunft
Forschungsschwerpunkte
Materials and Matter
Publikationen
Publikationsliste