Modulare Messplattform zur 3D sub-Nanometer Echtzeit- Driftkompensation

01.07.2023 - 30.06.2024
Forschungsförderungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Förderungmittel

  • Austria Wirtschaftsservice Gesellschaft mit beschränkter Haftu (National) AWS Austria Wirtschaftsservice GmbH Spezifisches Programm Grosse Prototypenförderung

Forschungsschwerpunkte

  • Surfaces and Interfaces: 100%

Publikationen