Ziel des Projektes "LaReCa" ist es, den wachsenden Bedarf im Bereich der Nanotechnologie an Sensoren, die hohe Empfindlichkeit mit hoher Kraft und lateraler Auflösung für die Oberflächenanalyse kombinieren, zu adressieren. Die zerstörungsfreie elektrische Analyse von Halbleiterbauelementen auf Waferebenezur Fehleranalyse und Prozesskontrolle erfordert Sensoren mit einer lateralen Auflösung im Nanometerbereich.

Die Aufgabe der TU Wien im Projekt LaRECa ist es mittels Direktschreibvorgängen und Dünnschichttechnologien auf einem Cantilever scharfe Spitze abzuscheiden und somit einen AFM-Sensor zu entwickeln, bei dem die Kontaktkraft während der Analyse in Echtzeit gemessen und gesteuert werden kann. Mit kleinsten Spitzenradien ermöglichen wir zerstörungsfreie Messungen, indem wir den Anpressdruck präzise steuern können. Mit gut leitfähigen Spitzen können elektrische Kontakte zur elektrisdchen Charakterisierung von nanoskaligen Halbleiterbauelementen, sowie mit magnetischen Spitzen eine nanomagnetische Charakterisierung von Nanobauelementen durchgeführt werden.

Die so erzeugten höchstauflösenden Sensoren leisten einen wesentlichen Beitrag zum Verständnis und der Weiterentwicklung von neuen nanoelektronischen Bauelementen.