AlN-Sensorbeschichtungen auf Schraubköpfen, unterschiedliche Schichtdicken und Abscheidetemperaturen mit anschliessender Charakterisierung

01.10.2022 - 31.12.2022
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Auftrag/Kooperation

  • KFTec OG

Forschungsschwerpunkte

  • Surfaces and Interfaces: 100%

Publikationen