AlN-Sensorbeschichtungen auf Schraubköpfen, unterschiedliche Schichtdicken und Abscheidetemperaturen mit anschliessender Charakterisierung

01.10.2022 - 31.12.2022
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Auftrag/Kooperation

  • KFTec OG

Research focus

  • Surfaces and Interfaces: 100%

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