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Kontrolle der Alkohol-Wasser-Mischung bei der Spülung von Halbleitern
19.09.2022 - 18.03.2023
Auftragsforschungsprojekt
Personen
Projektleiter_in
Markus Valtiner
(E134-02)
Institut
E134-02 - Forschungsbereich Applied Interface Physics
Auftrag/Kooperation
Lam Research AG
Forschungsschwerpunkte
Surfaces and Interfaces: 100%
Externe Partner_innen
Lam Research AG
Publikationen
Publikationsliste