Controlling alcohol-water mixing in semiconductor rinse-cleaning application

19.09.2022 - 18.03.2023
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Contract/collaboration

  • Lam Research AG

Forschungsschwerpunkte

  • Surfaces and Interfaces: 100%

Externe Partner_innen

  • Lam Research AG

Publikationen