Kontrolle der Alkohol-Wasser-Mischung bei der Spülung von Halbleitern

19.09.2022 - 18.03.2023
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Auftrag/Kooperation

  • Lam Research AG

Forschungsschwerpunkte

  • Surfaces and Interfaces: 100%

Externe Partner_innen

  • Lam Research AG

Publikationen