Aufbau DMD-Modul

01.10.2022 - 30.09.2023
Auftragsforschungsprojekt

Für eine Methode zur gezielten Materialabtragung dünner Schichten von Substraten soll ein optisches System, bestehend aus Spiegeln, Linsensystemen, DMDs und anderen optischen Komponenten, sowie einem UKPL, optimiert werden. Der Firmenpartner arbeitet gegenwärtig mit Industriepartnern zusammen, die an der Industrialisierung der Materialabtragung dünner Schichten interessiert sind. Diese Zusammenarbeit findet im Rahmen einer Working Group – Ceramic Data Carrier -Writing Device statt, die mittelfristig die Standardisierung und weltweite Produktion dieser neuartigen vom Firmenpartner patentierten Datenträger übernehmen soll.

Dazuwerden Versuche zum Materialabtrag auf beschichteten Substraten durchgeführt. Ausgehend von einfachen Strukturen am DMD (beispielsweise wiederum 100 x 100 Matrix) werden Abtragversuche auf Substraten durchgeführt mit dem Ziel, Strukturgrößen von ca. 500 nm auf den Substraten zu erreichen. Die angesteuerte Matrix am DMD soll anschließend schrittweise verfeinert werden (bis etwa 1000 x 1000) und wiederum die Abbildungsqualität untersucht. Abbildungsfehler, gleichmäßige Ausleuchtung der gesamten Fläche, Intensität und Pulsrate und damit gleichmäßiger Materialabtrag sollen optimiert werden. Ausgehend von diesen Untersuchungen werden Gestaltungshinweise und -richtlinien für die Fertigung eines kompakten optischen Systems für eine Wellenlänge von 514 nm bei einem externen Partner erstellt. 

Verschiedene optische Komponenten (DMDs, Homogenisierer, Strahlaufweitung, etc.) sowie DMD-Ansteuerungen werden untersucht und auf ihre Tauglichkeit zum geplanten Einsatz ausgehend von den zuvor gewonnenen Ergebnissen bewertet.

Personen

Projektleiter_in

Projektmitarbeiter_innen

Institut

Auftrag/Kooperation

  • Ceramic Data Solutions GmbH

Forschungsschwerpunkte

  • Quantum Physics and Quantum Technologies
  • Materials and Matter

Schlagwörter

DeutschEnglisch
LaserLaser
Ultrakurze Laserpulseultrafast lasers