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Organisation
Deposition of protective TiN coatings on Si MEMS (DA)
01.03.2022 - 31.10.2022
Auftragsforschungsprojekt
Personen
Projektleiter_in
Helmut Riedl-Tragenreif
(E308-01-2)
Subprojektmanager_innen
Rainer Hahn
(E308-01-2)
Institut
E308-01-2 - Forschungsgruppe Angewandte Oberflächentechnik
Auftrag/Kooperation
IMS NANOFABRICATION GMBH
Forschungsschwerpunkte
Materials Characterization: 100%
Publikationen
Publikationsliste