Deposition of protective TiN coatings on Si MEMS (DA)

01.03.2022 - 31.10.2022
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Auftrag/Kooperation

  • IMS NANOFABRICATION GMBH

Forschungsschwerpunkte

  • Materials and Matter