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Forschung
Organisation
Computational modeling for wet cleaning inside semiconductor nanostructures
01.02.2022 - 31.01.2025
Forschungsförderungsprojekt
Personen
Projektleiter_in
Markus Valtiner
(E134-02)
Subprojektleiter_in
Alper Tunga Celebi
(E134-02)
Institut
E134-02 - Forschungsbereich Applied Interface Physics
Förderungmittel
FFG - Österr. Forschungsförderungs- gesellschaft mbH (National)
Programm COMET-Zentren (K1)
Programm COMET
Bereich Strukturprogramm
Österreichische Forschungsförderungsgesellschaft mbH (FFG)
Forschungsschwerpunkte
Computational Fluid Dynamics: 70%
Surfaces and Interfaces: 30%
Externe Partner_innen
TU Graz
Lam Research AG
CEST Kompetenzzentrum für elektrochemische Oberflächentechnol
Publikationen
Publikationsliste