Fokussierte Laserstrahlung mit einer kurzer Wellenlänge im oder nahe des UV-Bereichs des Spektrums zur Materialbearbeitung kann eine sehr geringe Rayleighlänge aufweisen und daraus resultiert dann eine sehr hohe Anforderung an die Fokusiergenauigkeit des optischen Systems. Bei der Materialbearbeitung mit ultrakurzen Laserpulsen und hohen Anforderungen an die zu erzeugende minimale Strukturgröße können daher Bessel-Strahlen, die über eine größere Länge fokussiert bleiben, Vorteile aufweisen. Die Erzeugung von realen Bessel-Strahlen erfordert den Einsatz von Strahlformungselementen, wie etwa Axicons, Zonenplatten oder diffraktive optische Elemente. Diese optischen Elemente zur Erzeugung eines Bessel-Strahls und die Bewertung ihrer Einsatzmöglichkeiten im Rahmen der geplanten Aufgaben zur Bearbeitung von Strukturen in der Größenordnung von etwa 100 nm auf beschichteten Substraten sollen im Rahmen dieses Innovationsschecks untersucht werden. Dazu sollen einerseits unterschiedliche optische Elemente, welche in der Lage sind, einen Bessel-Strahl zu erzeugen, an Hand der vorhanden Literatur auf ihre Tauglichkeit im Hinblick auf die vom Firmenpartner vorgegebenen Kriterien bewertet und in weiterer Folge das am Besten geeignete Element ausgewählt werden. Dieses optische Element soll in anschließend in die vorhandene Ultrakurzpulslaser-Bearbeitungsanlage integriert und damit erste, orientierende Versuche durchgeführt werden.
