Oberflächenprozesse und -strukturen bei Laserdeposition

01.11.2004 - 15.11.2008
Forschungsförderungsprojekt
Die Erzeugung dünner oder ultradünner Schichten mittels gepulster Laserdeposition (engl. pulsed laser deposition, PLD) bietet zahlreiche Vorteile gegenüber der konventionellen Technik, Schichten durch Aufdampfen zu erzeugen. Ziel des Projekts ist es, die bei PLD von Metallschichten auftretenden Prozesse und die Struktur der damit erzeugten Schichten besser zu verstehen, und so einerseits eine solide Wissensbasis für zukünftige Anwendungen der PLD zu schaffen, andererseits sind diese Erkenntnisse aber auch für andere Methoden der Dünnschichttechnologie wie z.B. Kathodenzerstäuben von Bedeutung. Das Projekt soll auch tieferen Einblick in die Physik von Metallschichten im Nanometer- und Subnanometer-Längenbereich liefern. Zur Untersuchung soll vor allem Rastertunnelmikroskopie (engl. scanning tunneling microscopy, STM) mit atomarer Auflösung und chemischem Kontrast angewendet werden, eine Technik, mit der sowohl die geometrische als auch die chemische Struktur auf atomarer Ebene abgebildet werden kann. Damit werden mikroskopische Prozesse beim Schichtwachstum wie z.B. Implantation von Atomen in die Oberfläche und Durchmischung von Substrat- und Schichtmaterial direkt der Beobachtung zugänglich. Diese Technik, zusammen mit Messungen der Energieverteilung der vom Laserstrahl abgetragenen Teilchen, soll auch eine genaue Antwort auf die Frage liefern, warum mittels PLD erzeugte Schichten glatter als konventionell hergestellte sind, also warum mit PLD lagenweises Schichtwachstum erreicht werden kann. Weiters soll die Struktur der erzeugten Schichten untersucht werden, was insbesondere bei Eisenschichten auf Kupfer von hohem Interesse ist, weil bei Eisen Struktur und Magnetismus der Schichten miteinander eng verknüpft sind.

Personen

Projektleiter_in

Projektmitarbeiter_innen

Institut

Förderungsmittel

  • Fonds zur Förderung der wissenschaftlichen Forschung (FWF)

Forschungsschwerpunkte

  • Computational Science and Engineering
  • Materials and Matter
  • Außerhalb der TUW-Forschungsschwerpunkte

Schlagwörter

DeutschEnglisch
ultradünne Schichtenultrathin films
Schichtwachstumgrowth
Deposition mit gepulster Laserstrahlungpulsed laser deposition
Nukleationnucleation
Oberflächenstruktursurface structure