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Metallionenimplantation in dünne SiO2 bzw. SiOx Schichten zur Modifikation von Barriereeigenschaften für mobile Ionen
01.12.2018 - 30.11.2021
Auftragsforschungsprojekt
Personen
Projektleiter_in
Ao.Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.techn. Herbert Hutter
(E164-01-2)
Institut
E164-01-2 - Forschungsgruppe Oberflächen-, Spurenanalytik und Chemometrie
Auftrag/Kooperation
Infineon Technologies Austria AG
Forschungsschwerpunkte
Materials and Matter