362.085 Prozesstechnologien der Mikroelektronik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2012W, VO, 2.5h, 4.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.5
  • ECTS: 4.0
  • Typ: VO Vorlesung

Ziele der Lehrveranstaltung

Kenntnis der Basistechnologien in der Halbleiterfertigung. Vom Wafer zum fertigen Bauelement. Es soll ein Grundlagenverständnis der verschiedenen Technologien zur Herstellung von Halbleiterbauelementen (elektronische und optoelektronische Bauelemente) vermittelt werden.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Basistechnologien in der Halbleiterfertigung. Die unterschiedlichen Schritte bei der Herstellung verschiedener elektronische / optoelektronischer Halbleiter-Bauelemente werden diskutiert. Epitaxie, Strukturierungsmethoden, Strukturübertragungsmethoden, Isolierungskonzepte, Kontaktierungsmethoden.

Vortragende Personen

Institut

LVA-Anmeldung

Nicht erforderlich

Curricula

StudienkennzahlVerbindlichkeitSemesterAnm.Bed.Info
066 439 Mikroelektronik Keine Angabe2. Semester
066 453 Biomedical Engineering Gebundenes Wahlfach

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Sprache

Deutsch