362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2022W, UE, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: UE Übung
  • Format der Abhaltung: Präsenz

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

die grundlegenden Methoden der Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken für Halbleiterbauelemnte zu verstehen.

durch eigene experimentelle Tätigkeiten den das Prinzip der Techniken zu erfassen.

selbständig Mikroelektronik-Experimente nach vorheriger Einschulung durchzuführen

Physikern und Chemikern bietet dieser Laborkurs die Möglichkeit erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Technik der Mikrofabrikation zu gewinnen. 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung

Arbeitsprogramm der Gruppen WEBER: 

Ein Schwerpunkt der Arbeitsgruppe sind neue, rekonfigurierbare Bauelemente mit programmierbarer Funktionalität, wie z.B. eine Transistorstruktur mit mehreren Gate-Elektroden, die, je nach Beschaltung der Steuerelektroden, als Transistor, AND-Logik oder Inverter etc. arbeiten kann, Details finden Sie hier:

https://www.tuwien.at/etit/fke/forschung/nanoelektronische-bauelemente/rekonfigurierbare-elektronik

Der Ablauf des Labors richtet sich nach den aktuellen Bedürfnissen der laufenden Forschungsarbeiten, und reicht von (heiklen) Charakterisierungsmessungen mit modernsten Geräten bis hin zu Tätigkeiten im Reinraum.  Was im Rahmen des Praktikums gerade im Detail gemacht werden kann, erfahren Sie per email von masiar.sistani@tuwien.ac.at.

 

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN:  Auf Anfrage

 

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK

Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Methoden

 Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:      auf Basis eines Laborberichtes

 

Prüfungsmodus

Schriftlich

Weitere Informationen

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.
Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

Anmeldeemail mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084)  an

an      alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder   heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

oder  masiar.sistani@tuwien.ac.at

Vortragende Personen

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mo.13:00 - 14:0003.10.2022Seminarraum 362 - 1 Laborpraktikum - VORBESPRECHUNG

Leistungsnachweis

Laborprotokoll

 

Gruppentermine

GruppeTagZeitDatumOrtBeschreibung
Group A1 (Wanzenboeck)Mo.14:00 - 18:0019.09.2022 CHEG - Nano-Center - Foyer EG >> ReinRaum362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie Group A1 (Wanzenboeck)
Group A1 (Wanzenboeck)Di.10:00 - 18:0020.09.2022 CHEG - Nano-Center - Foyer EG >> ReinRaum362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie Group A1 (Wanzenboeck)
Group A2 (Wanzenboeck)09:00 - 18:0030.01.2023 - 31.01.2023 CHEG - Nano-Center - Foyer EG362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie Group A2 (Wanzenboeck)

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
14.09.2022 09:00 30.11.2022 21:00 30.11.2022 21:00

Anmeldemodalitäten

Institut für Festkörperelektronik, Floragasse 7 - 1 Stock, Seminarraum 1 Ort: Vorbesprechung

Gruppen-Anmeldung

GruppeAnmeldung VonBis
Group A1 (Wanzenboeck)01.09.2022 06:0031.10.2022 23:55
Group A2 (Wanzenboeck)31.08.2022 06:0030.11.2022 23:55
Gruppe B (Lugstein)31.08.2022 09:0002.02.2023 22:00
Gruppe C1 (Sistani)31.08.2022 09:0002.02.2023 22:00
Gruppe C2 (Sistani)29.09.2022 00:00
Gruppe C3 (Sistani)29.09.2022 00:00

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Vorlesung Prozesstechnologie 362.144 empfohlen.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch