362.149 Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2020S, VU, 2.0h, 3.0EC, wird geblockt abgehalten
Diese Lehrveranstaltung wird nach dem neuen Modus evaluiert. Mehr erfahren

LVA-Bewertung

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage..

... grundlegende Prinzipien der Chemie auf die Prozesse der Mikrofabrikation anzuwenden
... die chemischen Prozesse für Ätzen, Abscheidung, Reinigung in der Prozesstechnologie zu verstehen
... eigenständig eine gepufferte Flußsäureätze aus den Einzelkomponenten anzumischen
... Prozesse für Elektrodeposition von Kupferschichten selbständig zu designen (V, A, duration)
... Gasflüsse für Trockenprozesse entsprechend der Reaktionsstöchiometrie auszuwählen
... an Nasswerkbänke im Reinraum mit Säuren, Laugen und Lösungsmitteln zu arbeiten

Inhalt der Lehrveranstaltung

Theorie:
Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik,
Mikrofabrikationsprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen. 

Anwendung:
Rechenbeispiele zu Gasprozessen, Ätzprozessen, Gleichgewichtsreaktionen, etc.

Experimentelle Übung:
Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase)

Methoden

Vortrag unterstützt mit ppt-Folien sowie Tafelzeichnungen
Anwendung der chemischen Prinzipien auf Fragestellungen des Alltags
Anwendung der chemischen Prinzipien auf Fragestellungen der Halbleitertechnologie
Gemeinsames Erarbeiten von chemischen Formeln und Reaktionsgleichungen
Gemeinsames physikalisch-chemisches Rechnen

Prüfungsmodus

Mündlich

Weitere Informationen

Bitte um LVA-Anmeldung im TISS ***

Vorbesprechung: 02.03.2020 - 15h - Sem 362-2

Die Vorlesungsübung „Prozesschemie“ wird im SS2020 als BLOCKVORLESUNG abgehalten.
In SS2020 wird die Vorlesung gemäß Vereinbarung bei der Vorbesprechung 02.03.2020 ab 03.03. bis 11.03. vormittags von 9-13h abgehalten werden.

Der genaue Zeitplan wird in der Planungssitzung am 02. März 2020 gemeinsam mit allen anwesenden Studierenden festgelegt.

Location:  NanoCenter - Building CH

                 Gusshausstrasse 25a
                 Seminar room 2nd floor

Zur Vorlesung: Bitte Taschenrechner mitnehmen!

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mo.15:00 - 18:0002.03.2020 - 09.03.2020Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
15:00 - 18:0003.03.2020 - 13.03.2020Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Mo.02.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Di.03.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mi.04.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Do.05.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.06.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mo.09.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.09.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Di.10.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mi.11.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Do.12.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.13.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

Mitarbeit beim interaktiven Unterricht, Vorrechnen von Beispielen an der Tafel, Stundenwiederholungen

Abschliessend mündliches Prüfungsgespräch mit bis zu 3 Rechenbeispielen

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
03.02.2020 10:00 09.03.2020 18:00 08.06.2020 10:00

Anmeldemodalitäten:

LVA-Unterlagen sind nur bei TISS-Anmeldung zugänglich

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Kenntnisse in Lithography, CVD, RIE

Vorausgehende Lehrveranstaltungen

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Sprache

bei Bedarf in Englisch