362.149 Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2020S, VU, 2.0h, 3.0EC, wird geblockt abgehalten

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

Dies ist ein Dummy-Text, der in Kürze aktualisiert wird. Zweck der Aktion: Hier muss irgendetwas stehen, denn sonst kann ich die LVA nicht reaktivieren und auch keine Hörsäle reservieren.

 

...Lehrende, die an diesem Termin nicht teilnehmen können, finden unter dem Link https://owncloud.tuwien.ac.at/index.php/s/9Dki75euZK8prTM einen Leitfaden mit Schritt-für-Schritt Anleitung sowie zwei Präsentationen die einerseits die strategischen Überlegungen und andererseits die zugrundeliegenden hochschuldidaktischen Grundlagen darstellen. Weiters wurden auch in TISS Hilfetexte und Formulierungshilfen für Sie implementiert. ….

 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik, Herstellprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen.  Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase

Methoden

Dies ist ein Dummy-Text, der in Kürze aktualisiert wird. Zweck der Aktion: Hier muss irgendetwas stehen, denn sonst kann ich die LVA nicht reaktivieren und auch keine Hörsäle reservieren.

 

...Lehrende, die an diesem Termin nicht teilnehmen können, finden unter dem Link https://owncloud.tuwien.ac.at/index.php/s/9Dki75euZK8prTM einen Leitfaden mit Schritt-für-Schritt Anleitung sowie zwei Präsentationen die einerseits die strategischen Überlegungen und andererseits die zugrundeliegenden hochschuldidaktischen Grundlagen darstellen. Weiters wurden auch in TISS Hilfetexte und Formulierungshilfen für Sie implementiert. ….

 

Prüfungsmodus

Mündlich

Weitere Informationen

Die Vorlesungsübung „Prozesschemie“ wird im WS2018/19 als BLOCKVORLESUNG abgehalten:

Mo 01.10 - Fr. 12.10.2018 täglich 15-18h

Bitte um LVA-Anmeldung im TISS ***

Location:  NanoCenter - Building CH
                 Gusshausstrasse 25a
                 Seminar room 2nd floor

Bitte Taschenrechner mitnehmen!

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mo.15:00 - 18:0002.03.2020 - 22.06.2020Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
15:00 - 18:0003.03.2020 - 06.03.2020Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.15:00 - 18:0020.03.2020Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Mo.02.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Di.03.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mi.04.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Do.05.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.06.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mo.09.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.16.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Fr.20.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mo.23.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.30.03.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.20.04.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.27.04.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.04.05.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.11.05.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.18.05.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.25.05.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.08.06.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.15.06.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.22.06.202015:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

Dies ist ein Dummy-Text, der in Kürze aktualisiert wird. Zweck der Aktion: Hier muss irgendetwas stehen, denn sonst kann ich die LVA nicht reaktivieren und auch keine Hörsäle reservieren.

 

...Lehrende, die an diesem Termin nicht teilnehmen können, finden unter dem Link https://owncloud.tuwien.ac.at/index.php/s/9Dki75euZK8prTM einen Leitfaden mit Schritt-für-Schritt Anleitung sowie zwei Präsentationen die einerseits die strategischen Überlegungen und andererseits die zugrundeliegenden hochschuldidaktischen Grundlagen darstellen. Weiters wurden auch in TISS Hilfetexte und Formulierungshilfen für Sie implementiert. ….

 

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
03.02.2020 10:00 13.03.2020 18:00 08.06.2020 10:00

Anmeldemodalitäten:

LVA-Unterlagen sind nur bei TISS-Anmeldung zugänglich

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Kenntnisse in Lithography, CVD, RIE

Vorausgehende Lehrveranstaltungen

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Sprache

bei Bedarf in Englisch