362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2020S, UE, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: UE Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

Dies ist ein Dummy-Text, der in Kürze aktualisiert wird. Zweck der Aktion: Hier muss irgendetwas stehen, denn sonst kann ich die LVA nicht reaktivieren und auch keine Hörsäle reservieren.

 

...Lehrende, die an diesem Termin nicht teilnehmen können, finden unter dem Link https://owncloud.tuwien.ac.at/index.php/s/9Dki75euZK8prTM einen Leitfaden mit Schritt-für-Schritt Anleitung sowie zwei Präsentationen die einerseits die strategischen Überlegungen und andererseits die zugrundeliegenden hochschuldidaktischen Grundlagen darstellen. Weiters wurden auch in TISS Hilfetexte und Formulierungshilfen für Sie implementiert. ….

 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakteriseirungstechniken in der Halbleiterfertigung und Mikrostrukturierung

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN
auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Methoden

Dies ist ein Dummy-Text, der in Kürze aktualisiert wird. Zweck der Aktion: Hier muss irgendetwas stehen, denn sonst kann ich die LVA nicht reaktivieren und auch keine Hörsäle reservieren.

 

...Lehrende, die an diesem Termin nicht teilnehmen können, finden unter dem Link https://owncloud.tuwien.ac.at/index.php/s/9Dki75euZK8prTM einen Leitfaden mit Schritt-für-Schritt Anleitung sowie zwei Präsentationen die einerseits die strategischen Überlegungen und andererseits die zugrundeliegenden hochschuldidaktischen Grundlagen darstellen. Weiters wurden auch in TISS Hilfetexte und Formulierungshilfen für Sie implementiert. ….

 

Prüfungsmodus

Mündlich

Weitere Informationen

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.

Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

an             alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder          heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

NEU im SS 2018:
TISS-Registrierung für Kurse von Prof. Wanzenböck!
Kursinhalt: Optische Lithographie, Sputtern, Trockenätzen

Vorkenntnisse in Prozesstechnologie sind eine Voraussetzung.
Bitte registrieren Sie sich via TISS
Achtung: Kursdaten können sich bei unerwarteten Ereignissen ändern.
Fragen: Bitte an unsere Teamassistenz Alexandra.Linster@tuwien.ac.at

Vortragende

Institut

Leistungsnachweis

Laborprotokoll

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
06.03.2020 06:00 29.06.2020 22:00 05.07.2020 22:00

Anmeldemodalitäten:

Anmeldung per email an:

alois.lugstein@tuwien.ac.at             oder 

heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Anmeldeemail mit Überschrift "Anmeldung 362.084 Labor Mikroelektronik"
+ Name, + Matrikelnummer +Zeitrahmen f Labor

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Empfohlen in Kombination mit
362.144  VO Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik
362.152 VU Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik
362.146 VU Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik

 

Vorausgehende Lehrveranstaltungen

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

bei Bedarf in Englisch