362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2020S, UE, 2.0h, 3.0EC
TUWEL

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: UE Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

.... eigenständig Prozessschirtte der Mikrofabrikation zu Herstellung einfacher Bauelemente zu kombinieren
...  die grundlegenden Prozesse der Herstellung von integrierten Schaltungen bzw. MEMS Bauteilen anzuwenden.
...  die geeigneten Analysemethoden (zB Atomkraftmikroskopie oder Rasterelektronenmikroskopie) zur Problemlösung auszuwählen

Die dabei erworbenen Kenntnisse können idalerweise in einer längeren Projektarbeitet 362.092 vertieft werden.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakteriseirungstechniken in der Halbleiterfertigung und Mikrostrukturierung

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN
auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Methoden

Laborübung mit starkem Bezug zu aktuellen Forschungsprojekten.

Prüfungsmodus

Mündlich

Weitere Informationen

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.

Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

an             alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder          heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

NEU im SS 2018:
TISS-Registrierung für Kurse von Prof. Wanzenböck!
Kursinhalt: Optische Lithographie, Sputtern, Trockenätzen

Vorkenntnisse in Prozesstechnologie sind eine Voraussetzung.
Bitte registrieren Sie sich via TISS
Achtung: Kursdaten können sich bei unerwarteten Ereignissen ändern.
Fragen: Bitte an unsere Teamassistenz Alexandra.Linster@tuwien.ac.at

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Do.12:00 - 12:3005.03.2020Seminarraum 362 - 1 Vorbesprechung 362.084: Labor Mikroelektronik- Technologie

Leistungsnachweis

Laborprotokoll

Gruppentermine

GruppeTagZeitDatumOrtBeschreibung
Laborgruppe Wanzenboeck10:00 - 17:0015.06.2020 - 16.06.2020 Treffpunkt - 2nd floor Nano-Center362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie Laborgruppe Wanzenboeck

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
06.03.2020 06:00 29.06.2020 22:00 05.07.2020 22:00

Anmeldemodalitäten:

Anmeldung per email an:

alois.lugstein@tuwien.ac.at             oder 

heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Anmeldeemail mit Überschrift "Anmeldung 362.084 Labor Mikroelektronik"
+ Name, + Matrikelnummer +Zeitrahmen f Labor

Gruppen-Anmeldung

GruppeAnmeldung VonBis
Laborgruppe Wanzenboeck01.02.2020 06:0005.02.2020 12:00

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Empfohlen in Kombination mit
362.144  VO Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik
362.152 VU Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik
362.146 VU Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik

 

Vorausgehende Lehrveranstaltungen

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

bei Bedarf in Englisch