362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019S, UE, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: UE Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Praktische Einführung in Basistechnologien in der Halbleiterindustrie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:      auf Basis eines Laborberichtes

Diese praktische Laborübung soll den Studierenden die Möglichkeit, Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken zu erleben. Dieses Praktikum ist ideal, um die Kenntnisse der LVAs 362.144 , 362.152 , 362.146 zu vertiefen.

Auch idealer Einführungskurs für Physiker und Chemiker, um erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Techniken der Mikrofabrikation zu gewinnen. (Für Interessierte werden ergänzend auch die längeren Projektarbeitet 362,092 angeboten).

 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakteriseirungstechniken in der Halbleiterfertigung und Mikrostrukturierung

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN
auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Weitere Informationen

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.

Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

an             alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder          heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

NEU im SS 2018:
TISS-Registrierung für Kurse von Prof. Wanzenböck!
Kursinhalt: Optische Lithographie, Sputtern, Trockenätzen

Vorkenntnisse in Prozesstechnologie sind eine Voraussetzung.
Bitte registrieren Sie sich via TISS
Achtung: Kursdaten können sich bei unerwarteten Ereignissen ändern.
Fragen: Bitte an unsere Teamassistenz Alexandra.Linster@tuwien.ac.at

Vortragende

Institut

Leistungsnachweis

Laborprotokoll

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
01.03.2019 06:00 24.06.2019 22:00 30.06.2019 22:00

Anmeldemodalitäten:

Anmeldung per email an:

alois.lugstein@tuwien.ac.at             oder 

heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Anmeldeemail mit Überschrift "Anmeldung 362.084 Labor Mikroelektronik"
+ Name, + Matrikelnummer +Zeitrahmen f Labor

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Empfohlen in Kombination mit
362.144  VO Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik
362.152 VU Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik
362.146 VU Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik

 

Vorausgehende Lehrveranstaltungen

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

bei Bedarf in Englisch