362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2012W, UE, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: UE Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Praktische Kenntnis der Basistechnologien in der Halbleiterindustrie.
Laborübung wird im Reinraum der TU Wien durchgeführt

Inhalt der Lehrveranstaltung

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Metallisierungstechniken in der Halbleiterfertigung
Selbsständige Fertigung eines Test-Devices

Schwerpunkte: - optische Lithografie
                        - Metallabscheidung
                        - Trockenätzen
                        - optische Inspektion

Weitere Informationen

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt. Es werden mehrere Kurse im Semester angeboten.
Anmeldung erforderlich (per email)

email mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084)  an silvia.pflug@tuwien.ac.at

Vortragende Personen

Institut

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
14.10.2009 13:15

Anmeldemodalitäten

Institut für Festkörperelektronik, Floragasse 7 - 1 Stock, Seminarraum 1 Ort: Vorbesprechung

Curricula

StudienkennzahlVerbindlichkeitSemesterAnm.Bed.Info
066 439 Mikroelektronik Keine Angabe3. Semester

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Vorlesung Prozesstechnologie

Vorausgehende Lehrveranstaltungen

Begleitende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch