OSS - ta-C wafe: Bestimmung des Eigenspannungszustandes mittels Wafer Curvature

01.12.2025 - 31.01.2026
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Auftrag/Kooperation

  • Oerlikon Surface Solutions AG Trübach, Zweigniederlassung Balzers Balzers Technology & Service Center

Forschungsschwerpunkte

  • Materials Characterization: 100%

Publikationen