Metallionenimplantation in dünne SiO2 bzw. SiOx Schichten zur Modifikation von Barriereeigenschaften für mobile Ionen

01.12.2018 - 30.11.2021
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Auftrag/Kooperation

  • Infineon Technologies Austria AG

Forschungsschwerpunkte

  • Materials Characterization: 100%

Publikationen