Kinetische Monte-Carlo-Studien der Smart-Cut-Technologie in Si; Code-Modifikation und Kalibrierung von IMSIL für H- und He-Implantationen in GaN

01.11.2006 - 31.12.2007

Assigned research project

Kinetische Monte-Carlo-Studien der Smart-Cut-Technologie in Si; Modifikation des Codes IMSIL für Nicht-Diamant-Kristallstrukturen; Kalibrierung des Codes IMSIL für H- & He-Implantationen in GaN nach Erhalt von SIMS-Profilen

People

Project leader

Gerhard Hobler (E362)

Project personnel

Thomas Zahel (E362)

Institute

E362 - Institut für Festkörperelektronik

Auftrag/Kooperation

S.O.I.T.E.C Silicon on Insulator Technologies

Research focus

Modeling and Simulation: 100%

Keywords

German	English
Monte-Carlo-Simulation	Monte Carlo simulation
Smart-Cut-Technologie	Smart Cut technology
Ionenimplantation	ion implantation

Publications

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