Implantation of metals in thin SiO2 and SiOx layers for modification of the barrier properties for mobile ions

01.12.2018 - 30.11.2021
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Contract/collaboration

  • Infineon Technologies Austria AG

Forschungsschwerpunkte

  • Materials Characterization: 100%

Publikationen