Herstellung planarer Wellenleiter mit Zweiphotonenpolymerisation

01.11.2008 - 31.10.2011
Research funding project
Techniken zur Herstellung von integrierten Mikrooptiken und optischer Verbindungstechnik gewinnen zunehmend an Bedeutung, da die Nachfrage nach integrierten optoelektronischen Bauteilen kontinuierlich wächst. Elektrische Verbindungen für integrierte Bauelemente können derzeit relative einfach im Rahmen von Großserientechniken hergestellt werden. Als Substrate sind sowohl Leiterplatten als auch Silizium verfügbar. Für optische Verbindungstechnik gibt es derzeit noch keine massentaugliche Technologie, welche die Integration optischer Bauelemente zu geringen Kosten erlaubt. Die Verfügbarkeit von Planar Lightwave Circuits (PLWC) würde die Integration aktiver und passiver optischer Elemente (z.B. optische Interconnects, optische Multiplexer, optische Schalter) wesentlich vereinfachen. Die Schlüsselkomponenten für die Herstellung von PLWCs sind geeignete Strukturierungstechniken sowie Materialien mit entsprechenden optischen Eigenschaften. Die am besten geeignete Fertigungstechnik ist vermutlich die 2-Photonen-Polymersiation (2PP), die eine Lösung für oben genannte Herausforderungen bietet: Ein Substrat (Siliziumwafer oder Leiterplatte) wird mit einem photoempfindlichen Material beschichtet. Bei Belichtung mit einem Femtosekundenlaser wird lokal die Intensitätsschwelle überschritten und 2-Photonenpolymerisation ausgelöst. Durch eine selektive Belichtung können direkt dreidimensionale Strukturen in das Matrixmaterial eingeschrieben werden. So können beispielsweise bei Änderung des Brechungsindex Wellenleiter in das Material eingeschrieben werden. Die Vorteile von 2PP liegen in der exzellenten Auflösung (<300nm) und in der Tatsache, dass 3-dimensionale Strukturen direkt in das Material eingeschrieben werden können.

People

Project leader

Sub project leader

Project personnel

Institute

Förderungmittel

  • European Commission (EU) 6.RP: Unterstützung für die Koordinierung der (Forschungs-)Tätigkeiten 6.Rahmenprogramm für Forschung Europäische Kommission - Rahmenprogamme Europäische Kommission Ausschreibungskennung ERA-SPOT 2007 Antragsnummer SPOT07/04

Research focus

  • Non-metallic Materials: 50%
  • Photonics: 25%
  • Materials Characterization: 25%

Keywords

GermanEnglish
ZweiphotonenpolymerisationTwo photon polymerization
optische Wellenleiteroptical waveguides
Sensorensensors

External partner

  • High Q Laser Production GmbH
  • Institut für Angewandte Synthesechemie

Publications