Elektronenstrahl-Lithografieverfahren für C-Sense

02.11.2026 - 31.12.2026
Auftragsforschungsprojekt

Personen

Projektleiter_in

Institut

Auftrag/Kooperation

  • c-sense GmbH

Forschungsschwerpunkte

  • Nanoelectronics: 100%

Publikationen