Direkt-Abscheidungs-Nanostrukturing mit einem Fokussierten Elektronenstrahl System Betrieb eines Gasinjektionssystems mit einem fokussierten Elektronenstrahlsystem Abscheidung von Metallen und Dielektrika mit einem Rasterelektronenmikroskop Herste

01.01.2011 - 31.12.2014
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  • Special and Engineering Materials: 60%
  • Sensor Systems: 20%

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