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Research Profile
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Project authority
Lehre
Forschung
Organisation
KI-gestützte Multi-Scale-Modellierung der Halbleiterfertigung
01.07.2025 - 31.12.2027
Research funding project
People
Project leader
Lado Filipovic
(E360-01)
Institute
E360-01 - Forschungsbereich Mikroelektronik
Spende
Global TCAD Solutions GmbH
Research focus
Modeling and Simulation: 100%
Publications
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