Person profile

Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat.

Ulrich Schmid

Phone +43 1 58801 36689

E-Mailulrich.e366.schmid@tuwien.ac.at

Assigned

E366	E902	E366-02	E366-50	E056-29

Business Card

Research department

Name	Management/Member
Institute of Sensor and Actuator Systems	Management

Research area

Name	Management/Member
Services of the Institute	Management
Research Unit of Microsystems Technology	Management
	Member
Service Unit of BioDevX	Member

Profile

Research profile (German):

MEMS/NEMS Bauelemente, MEMS/NEMS Materialien, MEMS/NEMS Technolgien, Gehäusung und Systemintegration von MEMS/NEMS Bauelementen, MEMS/NEMS Modellierung und Simulation, leistungselektronische Bauelemente aus SiC.

Research profile (English):

MEMS/NEMS devices, MEMS/NEMS materials, MEMS/NEMS technologies, packaging and system integration aspects, MEMS/NEMS modelling and simulation, SiC power electronic devices.

Personal website:

https://scholar.google.at/citations?user=-g_OubcAAAAJ&hl=de

Publications:

Publications

Research Focal Areas

Research focus	Research field	Keywords	Percentage
Materials and Matter	Materials Characterization	Analytical methods (trace analysis, nuclear techniques, non-destructive testing), Scattering techniques, Tomography in 2D and 3D, New methods and instruments for analysis, Characterization at atomic resolution	60
Information and Communication Technology	Sensor Systems	Micro/nanosystems, Smart miniaturised systems, Sensor and Actuator systems, Micro and nanocomponents, Design of Semiconductor Components and Electronic-based Miniaturised Systems, Embedded systems design, Engineering of Networked Monitoring and Control Systems	40

Faculty focus

Faculty focus	Percentage
Mikro- und Nanoelektronik	100

Area of expertise according to Statistik Austria

Code	Area of expertise (German)	Area of expertise (English)
1243	Mikromechanik (auch: - der Werkstoffe)	Micromechanics (also: of materials)
2546	Sensorik	Sensor technology
2517	Halbleitertechnologie	Semiconductor technology
2968	Nanotechnologie	Nanotechnology

R&D Accomplishments

Description	From	Until
Other categories
Tagungsband zur SPIE-Konferenz "Smart Sensors, Actuators and MEMS" [978-0-8194-7642-5; referiert; unklass. ; international] Mitglied des editorial board	05/2009	05/2009

Patents

Number	Title	Inventors	Date of First Patent Application	Countries
CN 000107396276B	A Micromechanical Device, an Array of Micromechanical Devices, a Method of Manufacturing a Micromechanical Device and a Method of Controlling a Micromechanical Device	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Manfred Kaltenbacher (E325-03)	05/2017	China
Us 10516943b2	A Micromechanical Device, an Array of Micromechanical Devices, a Method of Manufacturing a Micromechanical Device and a Method of Controlling a Micromechanical Device	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Manfred Kaltenbacher (E325-03)	05/2016	United States of America
Us 10684163b2	Accoustic Wave Sensor	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	08/2017	United States of America
Wo 2011/161061 A1	Apparatus And Method For Acquiring Mechanical Loads On Thrust Elements	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Moritz Schneider	06/2010	Germany
Us 8,677,830 B2	Apparatus and Method for Acquiring Mechanical Loads on Thrust Elements	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Moritz Schneider	12/2010	United States of America
US000009498777B2	Cells Having Cavities and the Manufacture and Use of the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	01/2010	United States of America
Us 8,529,780 B2	Ceramic Substrate Material, Method For The Production And Use Thereof, And Antenna Or Antenna Array	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2009	United States of America
Us 8,586,178 B2	Ceramic Substrate Material, Method For The Production And Use Thereof, And Antenna Or Antenna Array	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	01/2011	United States of America
Us 7,935,265 B2	Ceramic Substrue Material, Method For The Production And Use Thereof, And Antenna Or Antenna Array	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	03/2008	United States of America
Us 10582304b2	Diaphragm Element Arrangement and Related Method	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	11/2018	United States of America
Wo 2014/201488 A1	Double-Layer Capacitor Comprising A Porous Semiconductor Capacitor Electrode	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Georg Schitter (E350, E369, E369-01, E369-50)	07/2014	Austria
De 10 2009 058 320 B4	Drucksensor und Druckmessverfahren	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	12/2009	Germany
De 10 2017 109 575 B4	Eine Mikroelektromechanische Vorrichtung, Eine Anordnung Mikroelektromechanischer Vorrichtungen, Ein Verfahren Zur Herstellung Einer Mikroelektromechanischen Vorrichtung Und Ein Verfahren Zum Betrieb Einer Mikroelektromechanischen Vorrichtung	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Manfred Kaltenbacher (E325-03)	05/2017	Germany
DE 199 45 673 84	Einspritzdüse für Verbrennungsmotoren mit einem Messelement und einer druckdichten elektrischen Durchführung	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/1999	Germany
Ep 2 680 332 B1	Energieversorgung für einen Verbraucher eines Fahrzeugs	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	06/2016
De 10 2011 113 488 B4	Energieversorgungseinheit für ein Flugzeug	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2008	Germany
EP2886464B1	Energy Harvester, Aircraft Component Comprising the Energy Harvester and an Aircraft Comprising the Energy Harvester or the Aircraft Component	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	12/2013	Germany
Ep 3 376 162 B1	Ep 3 376 162 B1	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Moritz Schneider	03/2018
Wo 2009/124913 A3	Flow Controlling Component	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	04/2009	Germany
AT 514443 81 2015-03-15	Halbleiter-Bauteil	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Monika Schitter (E067-03-1)	06/2013	Austria
Ep 2 203 955 B1	Herstellungsverfahren Für Einen Radarsensor	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	10/2001	Germany
De 102007051318 B1	Herstellungsverfahren für einen Radarsensor	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	10/2007	Germany
Us 8,001,844 B2	High Temperature Pressure Sensor Element, Particularly For Measuring Pressures Inside Jet Engines, Method For The Production Thereof And Component For Jet Engines	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	03/2007	United States of America
Wo 2007/101426 A 1	High Temperature Pressure Sensor Element, Particularly For Measuring Pressures Inside Jet Engines, Method For The Production Thereof And Component For Jet Engines	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	03/2007	Germany
Jp 5748257 B2	High Temperature Pressure Sensor Element, Particularly for Measuring Pressures Inside Jet Engines, Method for the Production Thereof and Component for Jet Engines	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	03/2007	Japan
Ep 1 991 849 B1	Hochtemperatur-Drucksensorelement, Insbesondere Zur Messung Von Drücken Innerhalb Von Triebwerken, Verfahren Zu Dessen Herstellung Und Bauteil Für Triebwerke	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	03/2007	Germany
Kr 101360479b1	Hochtemperatur-Drucksensorelement, insbesondere zur Messung von Drücken innerhalb von Triebwerken, Verfahren zu dessen Herstellung und Bauteil für Triebwerke / High Temperature Pressure Sensor Element, Particularly for Measuring Pressures Inside Jet Engines, Method for the Production Thereof and Component for Jet Engines	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	06/2016	Republic of Korea
DE 10 2006 061 386 83	Integrierte Anordnung, ihre Verwendung und Verfahren zu ihrer Herstellung	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	12/2006	Germany
Us 10822225b2	MEMS Sensors with Selectively Adjusted Damping of Suspension	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Moritz Schneider	06/2017	United States of America
GB 2558392 B	MEMS Sensors with Selectively Adjusted Damping of Suspension	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Moritz Schneider	11/2017	Great Britain & N.Ireland
AT 513634 81 2015-02-15	MEMS-Sensor zur Detektion von Umgebungsparametern	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Nicole Dörr (E164)	12/2012	Austria
De 10 2017 126 644 B4	Membranelementanordnung und Verfahren hierzu	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	11/2017	Germany
Us 10753744b2	Mems Out Of Plane Actuator	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Moritz Schneider	03/2017	United States of America
Wo 2014/086884 A1	Mems Sensor For Detecting Environmental Parameters	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Nicole Dörr (E164)	12/2013	Austria
Wo 2008/003374 A1	Method And Device For Machining Workpieces	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	05/2007	Germany
Us 10763339b2	Method for Manufacturing a Semiconductor Device Having a Schottky Contact	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	02/2016	United States of America
JP 6938596B2	Method for Manufacturing a Semiconductor Device Having a Schottky Contact	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	11/2019	Japan
DE 10 2015 101 966 B4	Method for Manufacturing a Semiconductor Device Having a Schottky Contact	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	02/2015	Germany
Us 10,199,514,B2	Methods for Manufacturing a Semiconductor Device Having a non-ohmic Contact Formed between a Semiconductor Material and an Electrically Conductive Contact Layer	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	01/2018	United States of America
US 9,212,045 Bl	Micro Mechanical Structure And Method For Fabricating The Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2014	United States of America
CN000105314587B	Micro Mechanical Structure and Method for Fabricating the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2015	China
KR000101775224B1	Micro Mechanical Structure and Method for Fabricating the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2015	Republic of Korea
Us 10,462,580 B2	Microelectromechanical Loudspeaker	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Pedro Miguel Jesus de Sousa Godinho (E202)	03/2018	United States of America
Ep 2 887 409 B1	Micromachined energy harvester with a thermoelectric generator and method for manufacturing the same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	12/2013	Germany
US000010106398B2	Micromechanical Structure Comprising Carbon Material and Method for Fabricating the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	05/2015	United States of America
KR000101861426B1	Micromechanical Structure Comprising Carbon Material and Method for Fabricating the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	05/2016	Republic of Korea
KR000101793329b1	Micromechanical Structure and Method for Fabricating the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2015	Republic of Korea
US000010081533B2	Micromechanical Structure and Method for Fabricating the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2014	United States of America
CN000107539942B	Micromechanical Structure and Method for Manufacturing the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	06/2017	China
Us 000010710874b2	Micromechanical Structure and Method for Manufacturing the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	06/2016	United States of America
KR 000102071852b1	Micromechanical Structure and Method for Manufacturing the Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	06/2016	Republic of Korea
CN000105314590B	Micromechanical structure and method for fabricating same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2015	China
Us 8.128.885 B2	Microreactor and Method for Manufacturing Same and Method for Manufacturing a Substrate for a Microreactor	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2008	United States of America
De 10 2016 111 909 B4	Mikromechanische Struktur und Verfahren zu ihrer Herstellung	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	06/2016	Germany
CN000106185781B	Mikromechanische Struktur und Verfahren zur Herstellung derselben	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	05/2015	China
De 102015213756b4	Mikromechanische Struktur und Verfahren zur Herstellung derselben	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2015	Germany
De 10 2015 213 757 B4	Mikromechanische Struktur und Verfahren zur Herstellung derselben	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2015	Germany
De 10 2016 208 356 B4	Mikromechanische Struktur und Verfahren zur Herstellung derselben	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	05/2016	Germany
Us 8,840,797 B2	Multilayer ceramic structure and method for producing the same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2012	United States of America
Jp 5876384 B2	Multilayer ceramic structure and method for producing the same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2012	Japan
Wo 2009/053460 A1	Production Method For A Radar Sensor	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	10/2008	Germany
US9998035B2	Resonant Energy Harvester, Aircraft Component Comprising the Resonant Energy Harvester and an Aircraft Comprising the Resonant Energy Harvester or the Aircraft Component	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	12/2014	United States of America
Ep 2 887 531 B1	Resonant energy harvester and an aircraft comprising the resonant energy harvester	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	12/2013	Germany
Ep 2 993 453 B1	SENSORELEMENT	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	08/2015
At 515945 B1	SENSORELEMENT	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2014	Austria
DE 10 2004 046 500 84	Sauerstoffdetektor und Sicherheitssystem für Brennstofftanks von Luftfahrzeugen, sowie Brennstofftank für Luftfahrzeuge	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2004	Germany
DE102016115260B3	Schallwellensensor	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	08/2016	Germany
Jp 6231065 B2	Semiconductor Device And Manufacturing Method Of The Same	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	12/2015	Japan
Us 10,431,698 B2	Semiconductor Device With Non-Ohmic Contact Between Sic And A Contact Layer Containing Metal Nitride	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	01/2019	United States of America
Us 9618406 B2	Sensor Element	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2015	United States of America
At 521457b1	Sensor zur Erfassung von Fluideigenschaften	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Nicole Dörr (E164)	07/2018	Austria
Ep 2 531 821 B1 / Wo 2011/095286 A3	Sensoranordnung	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	01/2011
De 10 2008 017 963 B4	Strömungssteuerungsbauelement	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	04/2008	Germany
CN000105092069B	System and Method for a Capacitive Thermometer	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	06/2014	China
US000009939331B2	System and Method for a Capacitive Thermometer	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Pedro Miguel Jesus de Sousa Godinho (E202)	05/2014	United States of America
Kr 000101935083b1	System and Method for a Capacitive Thermometer	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902), Pedro Miguel Jesus de Sousa Godinho (E202)	05/2015	Republic of Korea
Ep 2 854 191 B1	Thermoelectric Generator with Expandable Container	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2013	Germany
Ep 2 854 190 B1	Thermoelectric generator	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2013	Germany
Ep 2 041 770 B1	Verfahren Und Vorrichtung Zur Bearbeitung Von Werkstücken	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	05/2007
TR 183/1-105	Verfahren für die Synchronisation von Computeruhren in Netzwerken	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	01/2000	Austria
AT005327U1	Verfahren für die Sysnchronisation von Computeruhren in Netzwerken	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	03/2000	Austria
DE 10 2006 030 874 84 2013.03.14	Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2006	Germany
De 10 2009 041 952 B4	Verfahren zur Herstellung eines mehrlagigen Keramiksubstrats und mehrlagiges Keramiksubstrat und dessen Verwendung	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2009	Germany
DE 10 2009 038 925 84 2011.06.16	Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von elektrischer Energie	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	08/2009	Germany
DE 10 2004 042 483 84	Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung des Sauerstoffpartialdrucks in Brennstofftanks, insbesondere von Luft- und Raumfahrzeugen, sowie Verwendung der Vorrichtung	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	08/2004	Germany
DE 10 2004 046 501 84	Vorrichtung und Verfahren zur Risikominimierung für Brennstofftanks von Luftfahrzeugen	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	09/2004	Germany
De 10 2009 038 932 B3 2010.10.07	Vorrichtung zum Erzeugen von elektrischer Energie	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	08/2009	Germany
De 102005023793 B4	Vorrichtung zur Drallerzeugung in einem Kraftstoffeinspritzventil	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	05/2005	Germany
DE 10 2007 034 963 84 2011.09.22	Zelle mit einer Kavität und einer die Kavität umgebenden Wandung, Verfahren zur Herstellung einer derartigen Zelle, deren Verwendung und Wandung mit einer darin ausbildbaren Ausnehmung	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	02/2009	Germany
Wo 2009012939a3	Zelle mit einer Kavität, Bauelement und Verfahren zu deren Herstellung sowie Verwendung derselben	Ulrich Schmid (E056-29, E366, E366-02, E366-50, E902)	07/2008
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