Masterstudium Mikroelektronik und Photonik | | 4.0 | 120.0 |
Pflichtmodule | | | 36.0 |
Technologie und Materialien | | | 9.0 |
VO Materialien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VO Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
UE Technologie-Labor | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Photonik und Quantenelektronik | | | 9.0 |
VU Photonik 2 | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VO Optische Systeme | | 2.0 | 3.0 |
VO Quantenelektronik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Integrierte Schaltungen | | | 9.0 |
VU Analoge integrierte Schaltungen | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Digitale integrierte Schaltungen | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
UE Labor Analoge integrierte Schaltungen | | 2.0 | 3.0 |
UE Labor Digitale integrierte Schaltungen | | 2.0 | 3.0 |
Bauelemente und Systeme | | | 9.0 |
VU Integrierte Bauelemente | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Mikrosystemtechnik | | 2.0 | 3.0 |
VU Modellierung elektronischer Bauelemente | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Vertiefungspflichtmodule | | | 18.0 |
Technologie und Materialien - Vertiefung | | | 9.0 |
VU Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Materialien, Prozesse und Technologien der Photonik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Materialien, Prozesse und Technologien der Mikrosystemtechnik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Applied Photonics | | | 9.0 |
VU Photonik-Vertiefung | | 4.0 | 6.0 |
| | 4.0 | 6.0 |
VO Optische Nachrichtentechnik | | 2.0 | 3.0 |
Quantenelektronik - Vertiefung | | | 9.0 |
VO Halbleiterelektronik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Quantenelektronik Vertiefung | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
LU Rechenmethoden der Quantenelektronik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Integrierte Schaltungen - Vertiefung | | | 9.0 |
VU Schaltungstechnik Vertiefung | | 4.0 | 6.0 |
| | 4.0 | 6.0 |
SE Schaltungstechnik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Bauelemente und Systeme - Vertiefung | | | 9.0 |
VU Sensorik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VO Aktorik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
UE Labor Mikrosystemtechnik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Wahlmodule | | | 27.0 |
Emerging Devices | | | 9.0 |
VO Zukünftige Speicher und Logikelemente | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VO Neuartige nano- und optoelektronische Bauteile | | 2.0 | 3.0 |
SE Emerging Devices | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
SE Mikro- & nanoelektronische & optische Bauelemente | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Emerging Devices in Power Applications | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Elektrochemische Energieumwandlung und Energiespeicherung | | | 9.0 |
VO Elektrochemische Energieumwandlung und Energiespeicherung | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VO Elektrochemische Mess- und Untersuchungsmethoden | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VO Anwendungen elektrochemischer Materialien | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Coherent Optics | | | 9.0 |
VO Fourier-Optics / Optical Image Processing | | 2.0 | 3.0 |
VO Nonlinear Optics | | 2.0 | 3.0 |
VO Optische Präzisionsmetrologie | | 2.0 | 3.0 |
VO Nano-Photonik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Progress in Quantum Electronics | | 2.0 | 3.0 |
Novel Optical Sources | | | 9.0 |
VO THz Elektronik | | 2.0 | 3.0 |
VU Photonische integrierte Schaltungen | | 2.0 | 3.0 |
VO Moderne Festkörperlaser | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VO Ultrafast Lasers | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Modellierung und Design von Halbleiterlaser | | 2.0 | 3.0 |
Mikro- und Nanosystemtechnik | | | 9.0 |
VU Simulation von Mikrosystemen | | 2.0 | 3.0 |
VO Mikro- und Nanosystemtechnik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VO Mikro- und Nanofluidik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
SE Mikro- und Nanosensorik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
SE Seminar Sensorik und Packaging | | 2.0 | 3.0 |
VU Nanoelectromechanical Systems | | 2.0 | 3.0 |
VO Theorie, Modellierung und Simulation mikro- und nanoelektromechanischer Systeme (MEMS/NEMS) | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
More-than-Moore ICs and Systems | | | 9.0 |
VO Optoelektronisch integrierte Schaltungen | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
SE Mikrosystemtechnik | | 2.0 | 3.0 |
SE Neue Entwicklungen der integrierten Schaltungstechnik | | 2.0 | 3.0 |
Nanoelektronik | | | 9.0 |
VU Halbleiter-Prozess-Modellierung | | 2.0 | 3.0 |
VU Nanoelektronik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Nanostrukturierung niedrigdimensionaler Systeme | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Heterostrukturen für Nanoelektronik und Photonik | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
SE Mikro- & nanoelektronische & optische Bauelemente | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
SE Nanoelektronische Schaltungen | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Zuverlässigkeit Mikroelektronik | | | 9.0 |
VU Mikroelektronik Zuverlässigkeit: Bauelemente | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
VU Mikroelektronik Zuverlässigkeit: Prozess | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
SE Mikroelektronik Zuverlässigkeit | | 2.0 | 3.0 |
| | 2.0 | 3.0 |
Modul Freie Wahlfächer | | | 9.0 |
| | | |
| | | |
Diplomarbeit und kommissionelle Abschlussprüfung | | | 30.0 |
Abschlussarbeit Diplomarbeit | | | 27.0 |
Abschlussprüfung Kommissionelle Abschlussprüfung | | | 3.0 |