Praktische Kenntnis der Basistechnologien in der Halbleiterindustrie.Laborübung wird im Reinraum der TU Wien durchgeführt
Laborpraktikum über Strukturierungs- und Metallisierungstechniken in der HalbleiterfertigungSelbsständige Fertigung eines Test-Devices
Schwerpunkte: - optische Lithografie - Metallabscheidung - Trockenätzen - optische Inspektion
Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt. Es werden mehrere Kurse im Semester angeboten. Anmeldung erforderlich (per email)
email mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084) an silvia.pflug@tuwien.ac.at
Vorlesung Prozesstechnologie