366.071 Sensor Systems
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2016W, VO, 2.0h, 3.0EC

Properties

  • Semester hours: 2.0
  • Credits: 3.0
  • Type: VO Lecture

Aim of course

Sensoren und intelligente Sensorsysteme sind heute aus unserem alltäglichen Leben nicht mehr wegzudenken, da sie fast jeden Lebens- und Wirtschaftsbereich durchdrungen haben. Als Paradebeispiel dient typischerweise das Automobil. Insbesondere die hohe Dichte an unterschiedlichen Funktionalitäten und die kompakte Ausführungsform von gängigen, elektronischen Geräten, wie Videokameras oder Smart Phones, hängt jedoch stark von der Integration von mikrotechnisch hergestellten Sensorelementen ab. Starke Zuwachsraten für integrierte Sensorsysteme gibt es auch im Bereich der Automatisierung oder der Robotik, und auch in Nischenmärkten wie dem Luft- und Raumfahrtsektor.

Subject of course

Die Vorlesung teilt sich in 3 Abschnitte auf: im ersten werden Schlüsseltechnologien zur Herstellung von MEMS (micro electromechanical systems) Sensoren kompakt vorgestellt. Diese umfassen PVC (physical vapor deposition) and CVD (chemical vapor deposition) basierte Schichtabscheideverfahren als auch Grundlagen zur optischen Lithographie und zur Ätztechnik. Im zweiten Abschnitt werden an Hand von typischen Sensoren für physikalische Messgrößen, wie Druck, Beschleunigung, Drehrate, Fluss und Temperatur, deren grundsätzliches Funktionsprinzip erläutert, unterschiedliche Umsetzungskonzepte bewertet und gängige Anwendungsgebiete aufgezeigt. Im dritten Abschnitt werden ausgewählte Einzelsensoren zu Systemen erweitert und im Umfeld von bekannten technischen Systemen, wie dem Automobil oder dem Flugzeug vorgestellt. Auch aktuelle Aspekte, wie die lokale Energieversorgung von Sensorknoten aus der Umgebung (energy harvesting), werden angesprochen. Es ist ein zentrales Ziel der Vorlesung, ein grundsätzliches Verständnis von der Realisierung bis zur Systemintegration von ausgewählten, mikrotechnisch hergestellten Sensorelementen und -systemen zu schaffen. Die Vorstellung und Diskussion ausgewählter Beispiele zu aktuellen Forschungsthemen aus dem Bereich Sensorik runden die Vorlesung ab.

Lecturers

Institute

Course dates

DayTimeDateLocationDescription
Wed09:15 - 11:0005.10.2016 - 25.01.2017EI 3 Sahulka HS 366071
Sensor Systems - Single appointments
DayDateTimeLocationDescription
Wed05.10.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed12.10.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed19.10.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed09.11.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed16.11.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed23.11.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed30.11.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed07.12.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed14.12.201609:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed11.01.201709:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed18.01.201709:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071
Wed25.01.201709:15 - 11:00EI 3 Sahulka HS 366071

Exams

DayTimeDateRoomMode of examinationApplication timeApplication modeExam
Wed14:00 - 16:0011.12.2019EI 8 Pötzl HS written18.06.2019 08:00 - 09.12.2019 23:59TISSPrüfung WS 2018
Wed08:00 - 10:0029.01.2020 EI 3 Sahulka HSwritten01.10.2019 08:00 - 27.01.2020 23:59TISSHauptprüfung WS 2019
Wed13:00 - 15:0025.03.2020EI 2 Pichelmayer HS written01.10.2019 08:00 - 23.03.2020 23:59TISSPrüfung WS 2019
Wed13:00 - 15:0013.05.2020EI 2 Pichelmayer HS written01.10.2019 08:00 - 11.05.2020 23:59TISSPrüfung WS 2019
Wed13:00 - 15:0017.06.2020EI 2 Pichelmayer HS written01.10.2019 08:00 - 15.06.2020 23:59TISSPrüfung WS 2019

Course registration

Not necessary

Curricula

Literature

Die Vortragsfolien stehen als Handouts zur Verfügung.

Further literature:

U. Mescheder:
    Mikrosystemtechnik
    Konzept und Anwendungen
    Teubner-Verlag, Stuttgart
    ISBN 3-519-06256-9


G. Gerlach, W. Dötzel
    Grundlagen der Mikrosystemtechnik
    Hanser Verlag, München
    ISBN 3-446-18395-7

W. Menz, J. Mohr:
    Mikrosystemtechnik für Ingenieure
    VCH, Weinheim
    ISBN: 3-527-294055-8

M. Madou:
    Fundamentals of Microfabrication
    CRC Press, Boca Raton
    ISBN: 0-8493-9451-1

Language

German