376.052 Nanometrology
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2020S, VU, 3.0h, 4.5EC, wird geblockt abgehalten

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 3.0
  • ECTS: 4.5
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage:

  • die relevanten physikalischen Prinzipien für Messungen auf der Nanometer-Skala zu erläutern.
  • die wichtigsten Methoden der Rastersonden-Mikroskopie einander gegenüberzustellen und die geeignetste Methode für eine konkrete Messaufgabe auszuwählen.
  • die Funktionsweise eines Rasterkraft-Mikroskops und dessen Komponenten zu erklären.
  • ein Rasterkraft-Mikroskop im Labor zu bedienen.
  • Proben zu präparieren und deren Oberfläche mittels Rasterkraft-Mikroskopie zu analysieren.
  • wissenschaftliche Literatur aus dem Bereich Rastersonden-Mikroskopie zu präsentieren.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Grundlagen und physikalische Prinzipien auf der Nanometer-Skala, Kräfte, Limitierungen, Skalierungseffekte, hochauflösende Abbildungssysteme, Elektronenmikroskopie (SEM, TEM), Rastertunnelmikrokopie (STM), Rasterkraftmikroskopie (AFM) und verwandte Methoden (MFM, KFM), Kraftmessungen, Einzelmolekuelspektroskopie, Dynamik eines AFMs und Hochgeschwindigkeits-AFM, Bildverarbeitung, nanomechanische Charakterisierung, Nano-Indentation, Nano-Lithographie, Partikelmanipulation, Nano-Robotik, Wissenschaftliche Instrumentierung, physikalische Sensor- und Aktuationsprinzipien.

Commercial AFM from Bruker CooperationMFM image of a hard disc drive (HDD).

Methoden

Vorlesung, Laborübung

Prüfungsmodus

Prüfungsimmanent

Weitere Informationen

Diese Lehrveranstaltung ist Teil des Curriculums Masterstudium Energie- und Automatisierungstechnik und wird im Zuge des Wahlmoduls Precision Engineering angeboten. Um das Modul abzuschließen, ist zusätzlich der Besuch der Lehrveranstaltung 376.052 Optische Messtechnik notwendig.

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mi.09:00 - 13:0003.06.2020 Besprechungsraum CA0532Vorlesung
Mi.13:00 - 18:0003.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 1
Do.09:00 - 13:0004.06.2020 Computerlabor CA0426Vorlesung
Do.13:00 - 18:0004.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 1
Fr.09:00 - 13:0005.06.2020 Computerlabor CA0426Vorlesung
Fr.13:00 - 18:0005.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 1
Mo.09:00 - 13:0008.06.2020 Computerlabor CA0426Vorlesung
Mo.13:00 - 18:0008.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 2
Di.09:00 - 18:0009.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 2
Mi.09:00 - 13:0010.06.2020 Besprechungsraum CA0532Vorlesung
Mi.13:00 - 18:0010.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 1
Fr.09:00 - 18:0012.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 1
Mo.13:00 - 18:0015.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 2
Di.09:00 - 13:0016.06.2020 Computerlabor CA0426Vorlesung
Di.09:00 - 18:0016.06.2020 AFM Labor ACIN (CA0431)Labor Gruppe 2
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

  1. Schriftliche Prüfung 2-3 Wochen nach der Lehrveranstaltung (Termin siehe unter Prüfung): 50%
  2. Seminarvortrag: 25%
  3. Labor-Kurzbericht: 25%

Anwesenheitspflicht während Vorlesung und Laborübung!

Prüfungen

TagZeitDatumOrtPrüfungsmodusAnmeldefristAnmeldungPrüfung
Fr.10:00 - 11:3026.06.2020 Computerlabor CA0426schriftlich03.06.2020 09:00 - 24.06.2020 12:00in TISSNanometrology schriftl. Prüfung 1
Fr.10:00 - 11:3003.07.2020 Computerlabor CA0426schriftlich03.06.2020 09:00 - 24.06.2020 12:00in TISSNanometrology schriftl. Prüfung 2

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
27.01.2020 00:00 20.05.2020 22:59 20.05.2020 22:59

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
066 506 Energie- und Automatisierungstechnik

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Englisch