Überblick über die wesentlichen Prinzipien im Bereich der PVD basierenden Abscheidemethoden und den wichtigsten Charakterisierungstechniken
- Vakuumtechnik
- Anlagentechnologien/Konzepte
- Methoden zur Mechanische Charakterisierung vom Dünnschichten
- Methoden zur Thermische Charakterisierung von Dünnschichten
- Methoden zur Chemie- und Strukturanalyse
- Oberflächensensitive Methoden
Alle vorgestellten Methoden sollen von den Studierneden unter Anleitung der Überungsleiter selbst im Labor durchgeführt und erlernt werden.
Die Übung findet im WS 2023 in Präsenz statt. Sie besteht aus folgenden Teilen:
1. Vorbesprechung am Dienstag, 03.10.2023, 15:00 – 16:00 Uhr.
2. Präsenz-Hörsaalübung "Unit I bis V": am 11.10.2023, 08:00 – 10:00, sowie am 13.10.2022, 08:00 - 10:00, in Form einer Vorlesung. Die Teilnahme ist nicht verpflichtend, wird aber DRINGEND als Vorbereitung zum verpflichtenden Test (siehe Punkt 3) empfohlen. Unterlagen werden in der Präsenz-Hörsaalübung zur Verfügung gestellt.
3. Präsenz-Test zu allen Themen der LU "Unit I bis V" ist für den 20.10.2023, 08– 10 Uhr geplant. Die Teilnahme am Test ist VERPFLICHTEND. Über die Anmeldung zum Test und die Durchführung wird bei der Vorbesprechung informiert.
Die Anmeldung zu einer Übungsgruppe und die Teilnahme an den Labor-Einheiten sind nur nach Bestehen des Tests möglich! Achtung: KEINE Wiederholung des Tests möglich!
4. Labor-Einheiten: 5 Einheiten, je 2 Stunden, Tage und Zeiten je nach Übungsgruppe.
5. Protokoll, im Zuge der Laborübung ist von jedem Teilnehmer ein Protokoll (siehe Vorlage TISS) anzufertigen (Auswertung der Messergebnisse + kurze Interpretation)
Die Laborübung besteht aus den fünf Einzelübungen (Labor-Einheiten) PVD, XRD, REM/EDX, Nanoindentation, DSC/TG.
Zugelassen zur Anmeldung für eine Übungsgruppe der Labor-Einheiten sind alle, die den Test bestanden haben.
Sie können mit der Wahl der Übungsgruppe den Übungstag und die Übungszeit wählen. Der für dieses Semester gültige Gruppen-/Terminplan wird im TUWEL vorab veröffentlicht!
