Überblick über die Grundlagen der Ionen-Festkörper-Wechselwirkungen (atomare Stoßprozesse) und deren Anwendungen (Herstellung dünner Schichten, Ionenimplantation, Methoden der auf Ionenbeschusss basierenden Oberflächenanalysen, Materialvergütung durch Ionenimplantation).
Einführung in das Gebiet der Wechselwirkung von Ionen mit Festkörperoberflächen: Zerstäubung, Ionenimplantation, atomare Stoßprozessse; Computersimulation (Monte-Carlo Methoden und Molekulardynamik). Anwendungen: Herstellung dünner Schichten, Materialveredelung, Ionenimplantation, Oberflächenanalyse.
mündlich
Nicht erforderlich
