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376.052 Nanometrology
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019S, VU, 3.0h, 4.5EC, wird geblockt abgehalten

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 3.0
  • ECTS: 4.5
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Ziel dieses Wahlfach-Moduls ist die Vermittlung von Grundlagen und detaillierten Einblicken in die Nanometrologie, insbesondere Rastersondenmikroskopie (Atomic Force Microscopy, AFM), sowie die zugehörige Instrumentierung und Behandlung der Herausforderungen in mechatronischen Anwendungen.

Im Laborteil wird der Lehrinhalt der Vorlesung an den Laborsystemen am ACIN vertieft und von den Studierenden an praktischen Abbildung-, Mess- und Übungsaufgaben selbst am Gerät umgesetzt.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Grundlagen und physikalische Prinzipien auf der Nanometer-Skala, Kräfte, Limitierungen, Skalierungseffekte, hochauflösende Abbildungssysteme, Elektronenmikroskopie (SEM, TEM), Rastertunnelmikrokopie (STM), Rasterkraftmikroskopie (AFM) und verwandte Methoden (MFM, KFM), Kraftmessungen, Einzelmolekuelspektroskopie, Dynamik eines AFMs und Hochgeschwindigkeits-AFM, Bildverarbeitung, nanomechanische Charakterisierung, Nano-Indentation, Nano-Lithographie, Partikelmanipulation, Nano-Robotik, Wissenschaftliche Instrumentierung, physikalische Sensor- und Aktuationsprinzipien.

Commercial AFM from Bruker CooperationMFM image of a hard disc drive (HDD).

Weitere Informationen

Diese Lehrveranstaltung ist Teil des Curriculums Masterstudium Energie- und Automatisierungstechnik und wird im Zuge des Wahlmoduls Precision Engineering angeboten. Um das Modul abzuschließen, ist zusätzlich der Besuch der Lehrveranstaltung 376.052 Optische Messtechnik notwendig.

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
09:00 - 13:0003.06.2019 - 06.06.2019 Computerlabor CA 04 26 (4.Stock)Vorlesung
14:00 - 18:0003.06.2019 - 05.06.2019 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Do.14:00 - 18:0006.06.2019 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 2
Fr.09:00 - 18:0007.06.2019 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 2
09:00 - 13:0011.06.2019 - 12.06.2019 Computerlabor CA 04 26 (4.Stock)Vorlesung
13:00 - 18:0011.06.2019 - 12.06.2019 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Do.09:00 - 13:0013.06.2019 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Do.13:00 - 18:0013.06.2019 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 2
Fr.09:00 - 18:0014.06.2019 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 2
Nanometrology - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Mo.03.06.201909:00 - 13:00 Computerlabor CA 04 26 (4.Stock)Vorlesung
Mo.03.06.201914:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Di.04.06.201909:00 - 13:00 Computerlabor CA 04 26 (4.Stock)Vorlesung
Di.04.06.201914:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Mi.05.06.201909:00 - 13:00 Computerlabor CA 04 26 (4.Stock)Vorlesung
Mi.05.06.201914:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Do.06.06.201909:00 - 13:00 Computerlabor CA 04 26 (4.Stock)Vorlesung
Do.06.06.201914:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 2
Fr.07.06.201909:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 2
Di.11.06.201909:00 - 13:00 Computerlabor CA 04 26 (4.Stock)Vorlesung
Di.11.06.201913:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Mi.12.06.201909:00 - 13:00 Computerlabor CA 04 26 (4.Stock)Vorlesung
Mi.12.06.201913:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Do.13.06.201909:00 - 13:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 1
Do.13.06.201913:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 2
Fr.14.06.201909:00 - 18:00 AFM Labor ACINPraktikum Gruppe 2
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

  1. Schriftl. Prüfung 2-3 Wochen nach der Lehrveranstaltung (Termin siehe unter Prüfung): 50%
  2. Seminarvortrag: 25%
  3. Labor-Kurzbericht: 25% 

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
21.01.2019 00:00 15.05.2019 22:59 15.05.2019 22:59

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
066 506 Energie- und Automatisierungstechnik

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Englisch