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366.112 Selected topics on MEMS/NEMS technology, characterization and lab safety
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2024W, VO, 1.5h, 2.0EC, wird geblockt abgehalten
  • TUWEL-Kurs verfügbar ab: 01.10.2024 00:00.

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 1.5
  • ECTS: 2.0
  • Typ: VO Vorlesung
  • Format der Abhaltung: Online

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

  • sich grundsätzlich in Laboren richtig und sicher zu verhalten
  • sich im Reinraum richtig zu verhalten und die wesentlichen Aspekte von Arbeiten im Reinraum zu erläutern
  • grundlegende Konzepte der Mikrofabrikation zu verstehen
  • mit Proben richtig umzugehen, sie korrekt aufzubewahren und zu entsorgen
  • Gefahren, die von Arbeiten mit Chemikalien ausgehen zu erkennen und entsprechend sicher mit Chemikalien arbeiten zu können
  • Gefahren, die von Lasern ausgehen zu erkennen und zu vermeiden
  • Gefahren, die bei der Arbeit mit elektrischer Messtechnik ausgehen zu erkennen und zu vermeiden

Inhalt der Lehrveranstaltung

  • Grundlegendes Verhalten im Labor / Laborsicherheit
  • Verhalten im Reinraum (Reinraumtechnik, Bekleidung, Partikelquellen, Bewegung im Reinraum usw.)
  • Grundlegende Konzepte Mikrofabrikation (Additive und subtraktive Verfahren, Technologie, Lithographie)
  • Probenhandling (Waferhandling, Aufbewahrung, Vereinzelung, Gefahren, Entsorgung usw.)
  • Chemikalien (Einteilung, Gefahren, sicheres Arbeiten, PSA, Entsorgung usw.)
  • Arbeiten mit Lasern (Funktionsweise, Klassen, Gefahren usw.)
  • Elektrische Messtechnik (Gefahren, Grundlagen, Messverfahren usw.)

Methoden

Aufgezeichneter Frontalvortrag, Folien werden zur Verfügung gestellt

Prüfungsmodus

Schriftlich und Mündlich

Vortragende Personen

Institut

Leistungsnachweis

Leistungsüberprüfung erfolgt durch einen schriftlichen Test (im TUWEL) sowie durch eine mündliche Abschlussbesprechung.

LVA-Anmeldung

Nicht erforderlich

Curricula

StudienkennzahlVerbindlichkeitSemesterAnm.Bed.Info
710 FW Freie Wahlfächer - Elektrotechnik Freifach

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Sprache

Englisch