Eigenständiges Erarbeiten des state of the art an Hand von Publikationen aus einschlägigen Fachzeitschriften und Konferenzen zu aktuellen Fragestellungen im Bereich MEMS spezifischer Technologieentwicklungen, Bauelementen und Systemen sowie relevanter Auswerte- und Ansteuerschaltungen. Es können auch eigene Themenvorschläge eingebracht werden. Die Ergebnisse der Literaturstudie werden ausführlich diskutiert und im Rahmen eines Abschlussvortrages präsentiert.
