Auslegung und Simulation von mikromechanischen Drucksensoren mittels analytischen Berechnungen, sowie der finiten Elemente Methode (FEM).

Im Rahmen der Lehrveranstaltung wird die analytische Auslegung eines Drucksensors auf Basis klassischer mechanischer Modelle vermittelt, sowie die Berechnung mittels der finiten Elemente Methode (FEM). Dabei werden mechanische und materialwissenschaftliche Grundlagen behandelt, die zur Auslegung eines derartigen Sensors notwendig sind. Im zweiten Teil der Veranstaltung wird eine Einführung in ein aktuelles FEM Programm gegeben, mit dem der Drucksensor simuliert werden soll. Mit Hilfe der erlernten Methoden soll ein Drucksensor auf ein vorgegebenes Einsatzszenario ausgelegt und die entsprechende Kennlinien simuliert werden.