Im Rahmen der Vorlesung werden Aktorprinzipien der Mikrosystemtechnik und die dafür notwendige Grundlagen der Mechanik und Fluidik vermittelt.

Inhalt der Lehrveranstaltung ist die Anwendung verschiedenartiger Aktorprinzipien und ihre Umsetzung in mikro- und nanotechnisch hergestellten Bauelementen. Grundlegende Eigenschaften und der damit verbundene Einfluss auf die Bauelementecharakteristik werden vorgestellt und ausführlich diskutiert. Der Fokus liegt auf physikalischen Antriebsprinzipien (z.B. elektrostatisch, magnetisch, piezoelektrisch), sowie unkonventioneller Aktorik, basierend auf z.B. Formgedächtnislegierungen. Zusätzlich werden die notwendigen Grundlagen zum Verständnis der Bauelementemechanik vermittelt, sowie der Einfluss von Skalierungseffekten diskutiert. Ferner werden innerhalb der Vorlesung Grundlagen der Mikrofluidik vermittelt, die zum Verständnis von Aktuatoren in fluidischen Anwendungen, wie z.B. Ventilen, notwendig sind.

Der Leistungsnachweis erfolgt durch eine mündliche Prüfung nach individueller Terminvereinbarung.

Die Vortragsfolien stehen als Handouts zur Verfügung.

Kenntnisse aus der VO Sensorik und Sensorsysteme (366.071) sind hilfreich.