Die Mikrosystemtechnik gilt als wichtiger Impulsgeber und entscheidender Wettbewerbsfaktor für die Entwicklung der europäischen Wirtschaft. Die Anwendungsgebiete der Mikrosystemtechnik umfassen praktisch jeden Lebens- und Wirtschaftsbereich, angefangen von z.B. der chemische Verfahrenstechnik, über Automotive, Informatik und Telekommunikation bis zur Bio- und Medizintechnik - anders ausgedrückt: Mikrosystemtechnik ist hochgradig interdisziplinär. Aufbauend auf dem Inhalt der Bachelor-Vorlesung Sensorik und Sensorsysteme vermittelt die Lehrveranstaltung im Bereich MEMS Bauelemente und darauf aufbauenden Systemen vertiefende Kenntnisse. Nach einer kompakten Einführung werden ausgewählte sensorische Bauelemente vorgestellt und diskutiert, wie Drehratensensoren, Mikrofone oder auch Drucksensoren für Anwendungen oberhalb von 600°C. Im 2. Teilabschnitt steht die Mikroaktorik im Vordergrund, wobei grundlegende Prinzipien und daraus abgeleitete Bauelemente vorgestellt werden, basierend auf z.B. dem piezoelektrischen oder dem elektrostatischen Wandlerprinzip als auch auf Basis von thermischen Formgedächtnislegierungen. Im letzten Teil der Vorlesung werden unterschiedliche Konzepte und Bauelemente im Bereich des Energy Harvestings, einem hochaktuellen Forschungsgebiet der Mikrosystemtechnik, vorgestellt, die zukünftig zur Realisierung von energieautarken Sensornetzwerken dienen sollen. Typische Anwendungsgebiete dieses Themenkomplexes werden ausführlich diskutiert.
