366.074 Fachvertiefung - Mikrosensortechnologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2021W, VU, 4.0h, 5.0EC, wird geblockt abgehalten

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 4.0
  • ECTS: 5.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung
  • Format der Abhaltung: Präsenz

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

  • die grundlegenden Prozessschritte zur Herstellung von Mikrostrukturen und Bauelementen darstellen zu können.
  • Lithographieprozesse eigenhändig durchzuführen.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Ziel ist die Herstellung und Charakterisierung eines piezoelektrisch betriebenen resonanten Mikrosensors, der zur Erfassung des Umgebungsdrucks verwendet werden kann. Wichtige Technologieschritte werden in den institutseigenen Reinräumen durchgeführt, sodass das praxisnahe Kennenlernen modernster Abscheide- und Strukturierungsmethoden (wie z.B. Aufdampf- und Sputteranlage, CVD-Anlage, Maskenbelichtungsgerät und Aligner, DRIE für Tiefenätzungen mit sehr hohem Aspektverhältnis) für die Mikrosensorik ermöglicht wird. Die Bauelemente werden anschließend mit geeigneten Mikroskopierverfahren (optisch, Rasterelektronenmikroskop) untersucht. Anschließend werden die Mikrostrukturen resonant angeregt, unter einem Mikrosystemanalysator mit Laser-Doppler Vibrometer Modenformen und Resonanzfrequenzen bestimmt und mit theoretischen Modellen verglichen. Die Abhängigkeit des Schwingungsverhaltens vom Umgebungsdruck wird mit Hilfe von zeitabhängigen Impedanzmessungen elektrisch erfasst und mit gängigen theoretischen Ansätzen evaluiert. Theoretische Grundlagen zu den Resonatoren und zur Technologie werden von den Studierenden zu Beginn der VU unter Anleitung erarbeitet und die Ergebnisse in kurzen, mündlichen Vorträgen präsentiert.

Methoden

Zur Vorbereitung auf den praktischen Teil findet ein Theorieteil in Form eines Seminars statt. Dabei werden für den praktischen Teil relevante Themen an die Teilnehmer vergeben und von diesen vorbereitet. Während des Seminars präsentieren die Teilnehmer anschließend ihr Thema.

Der praktische Teil findet unter Anleitung von Betreuern in den Laboren und Reinräumen des ISAS statt.

COVID-19 Hinweis: Beim Aufenthalt in den Laboren ist jederzeit eine Maske zu tragen. Es gelten grundsätzlich die Corona-Regeln der TU Wien (https://www.tuwien.at/tu-wien/corona).

Prüfungsmodus

Schriftlich und Mündlich

Weitere Informationen

Anwesenheitspflicht!
Beschränkung auf 10 Personen

Diese Beschränkung ist in diesem Semester eine harte Grenze, da wir coronabedingt nur eine limitierte Raumkapazität zur Verfügung haben.

Bitte einfach in Gruppe 1 anmelden, die Terminfindung wird dann individuell stattfinden. Die Anmeldung wird am 27.09.2021 um 10:00 freigeschaltet.

Vortragende Personen

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mo.16:00 - 17:0004.10.2021Seminarraum 366 Vorbesprechung
Fr.09:00 - 12:0015.10.2021Seminarraum 366 Seminar
Fr.13:00 - 17:0015.10.2021Seminarraum 366 Seminar
Fr.14:00 - 16:0029.10.2021Seminarraum 366 Eingangstest
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

Zu Beginn findet ein Einstiegstest statt, der positiv abgeschlossen werden muss um an der LVA teilnehmen zu können.
Es wird sowohl der Einstiegstest, der Seminarvortrag als auch die Mitarbeit während des praktischen Teils bewertet. Eine dedizierte Abschlussprüfung findet nicht statt.

LVA-Anmeldung

Die Anmeldung erfolgt über Gruppen-Anmeldung.

Gruppen-Anmeldung

GruppeAnmeldung VonBis
Gruppe 127.09.2021 10:0003.10.2021 18:00

Curricula

Literatur

  • Veikko Lindroos: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
  • Marc Madou: Fundamentals of Microfabrication

Vorkenntnisse

Der Inhalt der VO Sensorik und Sensorsysteme (366.071) wird vorausgesetzt.

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch