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366.074 Fachvertiefung - Mikrosensortechnologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019W, VU, 4.0h, 5.0EC, wird geblockt abgehalten

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 4.0
  • ECTS: 5.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

  • ... die grundlegenden Prozessschritte zur Herstellung von Mikrostrukturen darstellen zu können.
  • ... Lithographieprozesse eigenhändig durchzuführen.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Ziel ist die Herstellung und Charakterisierung eines piezoelektrisch betriebenen resonanten Mikrosensors, der zur Erfassung des Umgebungsdrucks verwendet werden kann. Wichtige Technologieschritte werden in den institutseigenen Reinräumen durchgeführt, sodass das praxisnahe Kennenlernen modernster Abscheide- und Strukturierungsmethoden (wie z.B. Aufdampf- und Sputteranlage, CVD-Anlage, Maskenbelichtungsgerät und Aligner, DRIE für Tiefenätzungen mit sehr hohem Aspektverhältnis) für die Mikrosensorik ermöglicht wird. Die Bauelemente werden anschließend mit geeigneten Mikroskopierverfahren (optisch, Rasterelektronenmikroskop) untersucht. Anschließend werden die Mikrostrukturen resonant angeregt, unter einem Mikrosystemanalysator mit Laser-Doppler Vibrometer Modenformen und Resonanzfrequenzen bestimmt und mit theoretischen Modellen verglichen. Die Abhängigkeit des Schwingungsverhaltens vom Umgebungsdruck wird mit Hilfe von zeitabhängigen Impedanzmessungen elektrisch erfasst und mit gängigen theoretischen Ansätzen evaluiert. Theoretische Grundlagen zu den Resonatoren und zur Technologie werden von den Studierenden zu Beginn der VU unter Anleitung erarbeitet und die Ergebnisse in kurzen, mündlichen, Vorträgen präsentiert.

Methoden

Zur Vorbereitung auf den praktischen Teil findet ein Theorieteil in Form eine Seminars statt. Dabei werden für den praktischen Teil relevante Themen an die Teilnehmer vergeben und von diesen vorbereitet. Während des Seminars präsentieren die Teilnehmer anschließend ihr Thema.

Der praktische Teil findet unter Anleitung von Betreuern in den Laboren und Reinräumen des ISAS statt.

Prüfungsmodus

Schriftlich und Mündlich

Weitere Informationen

Präsentation aller ISAS-Wahllehrveranstaltungen: Montag, 7. Oktober 2019, 13.00 s.t., Hörsaal EI 4 (Reithoffer HS)
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Anwesenheitspflicht bei VU 366.074 !
Beschränkung auf ca. 15 Personen


Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Di.15:00 - 16:0008.10.2019 Besprechungsraum ISAS, CB0102Vorbesprechung
Do.10:00 - 16:0017.10.2019 Besprechungsraum ISAS, CB0102Vorträge
Fr.10:00 - 16:0018.10.2019 Besprechungsraum ISAS, CB0102Vorträge
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

Zu Beginn findet ein Einstiegstest statt, der positiv abgeschlossen werden muss um an der LVA teilnehmen zu können.

Es wird sowohl der Einstiegstest, der Seminarvortrag als auch die Mitarbeit während des praktischen Teils bewertet. Eine dedizierte Abschlussprüfung findet nicht statt.

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
01.10.2019 08:00 07.10.2019 23:59

Curricula

Literatur

  • Veikko Lindroos: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
  • Marc Madou: Fundamentals of Microfabrication

Vorkenntnisse

Der Inhalt der VO Sensorik und Sensorsysteme (366.071) wird vorausgesetzt.

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch